對應光學器件、MEMS制造的干法刻蝕裝置NLD-5700
對應光學器件、MEMS制造的干法刻蝕裝置NLD-5700是搭載了磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的量產用干法刻蝕裝置。（可實現產生低壓、低電子溫度、高密度的等離子）
產品特性 / Product characteristics
• 在潔凈房內作業可擴張為雙腔。（可選配腔室：NLD、有磁場ICP、CCP或者去膠室）
•NLD為時間空間可控的等離子，因此設備干法清潔容易。•腔體維護簡便。•從掩模刻蝕到石英、玻璃刻蝕，可提供各類工藝解決方案。•門的半導體技術研究所會提供完備的工藝支持體制。產品應用 / Product application
- •光學器件（折射格子、光波導、光學開關等等）、凹凸型微透鏡。•流體路徑作成或光子學結晶。
產品參數 / Product parameters
1、公司介紹
深圳市矢量科學儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學團隊孵化，致力泛半導體實驗線、中試線、生產線裝備及工藝和廠務技術服務于一體的國家高新技術企業、創新型中小企業、科技型中小企業。
公司主要業務如下:
裝備銷售:半導體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試裝備、半導體光電測試儀表。
設備服務:駐場或者 oncall，裝備維護、保養、售后技術支持。
廠務服務:駐場或者 oncall，人力服務及廠務二次配工程。
經歷五年高速發展，2023 年營業額達 3.2 億，連年復合增長率達 300%，現處于穩定擴張期。
2、成長歷程
•2020年（公司成立年）
•2300萬訂單額
2021年 7000萬訂單額
2022年 2.5億訂單額
2023年3.2億訂單額
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深圳市矢量科學儀器有限公司
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