干法刻蝕設備 APIOS NE-950EX
對應LED量產用的干法刻蝕設備?NE-950EX?相對我司以往設備實現了140%的生產力。是搭載了ICP高密度等離子源和愛發(fā)科自有的星型電的干法刻蝕設備。
產品特性 / Product characteristics
• 4inch晶圓可放置7片同時處理，6inch晶圓可實現3片同時處理，小尺寸晶圓方面，2inch晶圓可實現29片、3英寸可對應12片同時處理。
•搭載了在化合物半導體域擁有600臺以上出貨實績的有磁場ICP（ISM）高密度等離子源。•高生產性（比以提高140%）。※1 愛發(fā)科利第3188353號•為防止RF投入窗的污染搭載了愛發(fā)科星型電。※2 愛發(fā)科利第3429391號•貫徹Depo對策，實現了維護便利、長期穩(wěn)定、高信賴性的硬件。•擁有豐富的工藝應用的干法刻蝕技術（GaN藍寶石、各種metal、ITO、SiC、AlN、ZnO、4元系化合物半導體）。•豐富的可選機能。產品應用 / Product application
• 對應LED的GaN、藍寶石、各種金屬、ITO等的干法刻蝕設備
產品參數 / Product parameters
1、公司介紹
深圳市矢量科學儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學團隊孵化，致力泛半導體實驗線、中試線、生產線裝備及工藝和廠務技術服務于一體的國家高新技術企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。
公司主要業(yè)務如下:
裝備銷售:半導體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試裝備、半導體光電測試儀表。
設備服務:駐場或者 oncall，裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持。
廠務服務:駐場或者 oncall，人力服務及廠務二次配工程。
經歷五年高速發(fā)展，2023 年營業(yè)額達 3.2 億，連年復合增長率達 300%，現處于穩(wěn)定擴張期。
2、成長歷程
•2020年（公司成立年）
•2300萬訂單額
2021年 7000萬訂單額
2022年 2.5億訂單額
2023年3.2億訂單額
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深圳市矢量科學儀器有限公司
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