高密度等離子刻蝕裝置ULHITETM NE-7800H
高密度等離子客戶裝置ULHITE NE-7800H是對應刻蝕FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAM等器件所用的高難度刻蝕材料（強電介質層、貴金屬、磁性膜等）的Multi-Chamber型低壓高密度等離子刻蝕設備。
產品特性 / Product characteristics
•有磁場ICP（ISM）方式-可產生低圧?高密度plasma、為不揮發性材料加工的用設備。
•可提供對應從常溫到高溫（400oC）的層積膜整體刻蝕、硬掩膜去除的刻蝕解決方案。
•通過從腔體到排氣line、DRP為止的均勻加熱來防止沉積物。
•該設備采用可降低養護清洗并抑制partical產生的構造和材料及加熱機構，是在不揮發性材料的刻蝕方面擁有豐富經驗的量產裝置。
•實現了長期的再現性、安定性
產品應用 / Product application
•FeRAM, MRAM, ReRAM, CBRAM, PcRAM等.
產品參數 / Product parameters
1、公司介紹
深圳市矢量科學儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學團隊孵化，致力泛半導體實驗線、中試線、生產線裝備及工藝和廠務技術服務于一體的國家高新技術企業、創新型中小企業、科技型中小企業。
公司主要業務如下:
裝備銷售:半導體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試裝備、半導體光電測試儀表。
設備服務:駐場或者 oncall，裝備維護、保養、售后技術支持。
廠務服務:駐場或者 oncall，人力服務及廠務二次配工程。
經歷五年高速發展，2023 年營業額達 3.2 億，連年復合增長率達 300%，現處于穩定擴張期。
2、成長歷程
•2020年（公司成立年）
•2300萬訂單額
2021年 7000萬訂單額
2022年 2.5億訂單額
2023年3.2億訂單額
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深圳市矢量科學儀器有限公司
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