產品簡介:
非接觸粗糙度測量儀采用壓電掃描方式非接觸測量粗糙度。掃描方式:壓電掃描臺帶動測頭掃描,樣品固定。非接觸式表面粗糙度輪廓儀對表面粗糙度的測量,就是利用對被測表面形貌沒有影響的手段間接反映被測表面的信息來進行測量的方法,這類方法最大的優點就是測量裝置探測部分不與被測表面的直接接觸,保護了測量裝置,同時避免了與測量裝置直接接觸引入的測量誤差.
更小體積——是傳統接觸式輪廓儀1/4體積,方便系統集成。
更小測量光斑——測量光斑2um,
高精度——10nm重復性、20nm測量精度,
接觸式測量——不會劃傷樣品表面,沒有探針損耗。
產品應用:
非接觸粗糙度測量儀主要應用于:油墨厚度測量,MLCC厚度測量,厚膜電路測量,銀漿厚度測量,激光刻蝕測量,涂膠厚度測量,半導體、特種材料表面粗糙度測量等。
表面粗糙度是機械加工中描述表面微觀形貌常用的參數,它反映的是機械零件表面的微觀幾何形狀誤差,隨著機械加工行業的發展表面粗糙度測量技術也得到長足進步,特別是70年代中后期,隨著微電子計算機應用的逐步普及和現代光學技術、激光應用技術的發展,使粗糙度測量技術在機械加工、光學加工、電子加工等精密加工行業中的地位顯得愈發重要。
表面粗糙度的測量方法基本上可分為接觸式測量和非接觸式測量兩類:在接觸式測量中主要有比較法、印模法、觸針法等;非接觸測量方式中常用的有光切法、散斑法、像散測定法、光外差法、AFM 、飛光學傳感器法等。