三維激光共焦顯微拉曼光譜儀是一種高靈敏度和高空間分辨率的拉曼共焦光譜儀系統,它可以進行三維拉曼成像,橫向空間分辨率高達200nm，軸向分辨率高達500nm。此外，與掃描探針顯微鏡SPM相結合可以同時進行拉曼和形貌成像。利用針尖增強拉曼光譜TERS技術，可以獲得50nm以下的橫向空間分辨率。采用紫外激光激發，非常適合硅器件應力分布。
三維激光共焦顯微拉曼光譜儀特點
高靈敏度：4階Si拉曼測量時間小于1分鐘
快速拉曼成像，所需激發激光功率小
空間分辨率高：針尖增強拉曼光譜TERS技術可以獲得50nm以下分辨率
     130nm分辨率@364nm, 200nm分辨率@488nm
光譜分辨率高：0.5cm^-1(Echelle光柵技術），0.1cm^-1（Curve Fitting軟件算法）
激光掃描顯微鏡可選：自聚焦功能，自動3個波長激光切換，同時共聚焦拉曼成像和共聚焦激光光學成像
近場針尖增強拉曼光譜TERS顯微鏡可選：可集成共聚焦拉曼和掃描探針顯微鏡，空間分辨率達50nm
Deconvolution軟件：分辨率提高1.5倍，拉曼共聚焦成像空間分辨率高達100nm,標準分辨率為波長/4.2, 其中波長=488nm, 532nm, 633nm,785nm

“大面積掃描選項”–大樣本的快速Mapping映射
?具有毫米、厘米或更大掃描區域的步進電機位移臺的拉曼成像。
?通過同步恒速樣本移動和數據采集進行快速掃描。
?在點掃描和快速掃描之間輕松切換。
?可與“線掃描”選項組合。
※此掃描選項需要步進電機位移臺。
三維激光共焦顯微拉曼光譜儀通用規格
空間分辨率指標
波長nm   數值孔徑N.A.  XY方向nm   Z方向nm
364           1.4（油浸）  130               330
488           1.4（油浸）  200               500
488           0.9                 250               520
532           0.9                 275               560
633           0.9                 320               660
785           0.9                 390               800
•靈敏度：測量四階硅拉曼光譜可達1分鐘/點（@488nm，5mW激光功率）
•波數范圍：50cm^-1～5000cm^-1（取決于激發激光）
•波數分辨率：0.5cm^-1～20cm^-1（@1.5CCD像素）
•控制：電腦自動控制所有光學元件
•隔振：空氣彈簧式工作臺
顯微鏡
•正置顯微鏡/倒置顯微鏡（可選）
•CCD相機可選
光學元件（可選）
•安裝的光學器件：偏振光學器件（激發/檢測通道），
自動波長校準，邊緣濾波片（可更換為Notch濾波片）
•可選光學元件：紫外線-可見   可見-近紅外  近紅外
成像光譜儀
•焦距：52cm
•光柵：最多4個（可自動切換）
•光柵選擇（G/mm）：150、200、300、600、1200、1800、2400、2800，階梯形Echelle光柵
•狹縫寬度：0~1.5mm（電動）
•出口數量：2個（可配備兩種探測器）
•雜散光去除率：1×10^-5
壓電位移臺
•行程范圍：XY:100μm（可選300μm）Z:100μm（可選300μm）
•定位重復精度：<30 nm，閉環
•負載能力：高達1kg
•電控位移臺或壓電位移臺組合安裝可選
掃描振鏡掃描儀（可選）
•行程范圍：XY:100μm（100x顯微鏡物鏡）250μm（40x顯微鏡物鏡）
探測器
•TE制冷CCD:1024×128像素（26μm/像素）（可選擇UV、visible和NIR類型）
•雪崩光電二極管
•光電倍增管
激勵激光器（可選）
•325nm, 364nm, 442nm, 458nm, 488nm, 514nm, 532nm, 633nm, 785nm
控制和分析用計算機/軟件
•控制系統存儲在機架中
•分光計，狹縫，濾光片，偏光鏡和其他光學元件的*控制
•激光開關鏡（最多3個激光器）
•2D?3D圖像旋轉，任意位置切片
•拉曼光譜顯示
•波數自動校準
•基線校正
•曲線擬合：可選光譜數據庫分析軟件
其它選項
•加熱/冷卻：－180℃至600℃（取決于設備）
•高溫樣品加熱臺
•時間分辨測量：條紋相機，TCSPC（時間相關單光子計數）
•近場拉曼光譜