SR-4011-壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái),進(jìn)口壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)
2025-01-06
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- 產(chǎn) 地：
- www.felles.cn/xuanzhuan.html
- 所在地區(qū)：
- 上海上海市
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)SR-4011是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)定位器,采用壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)360度無(wú)限旋轉(zhuǎn)。
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)SR-4011集成光學(xué)編碼器確保***高閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和***高重復(fù)精度（高達(dá)5μrad）。
我們?yōu)橛脩籼峁追N標(biāo)準(zhǔn)壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)都可以根據(jù)用戶需求定制.
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)規(guī)格參數(shù)
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)SR-4011集成光學(xué)編碼器確保***高閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和***高重復(fù)精度（高達(dá)5μrad）。
我們?yōu)橛脩籼峁追N標(biāo)準(zhǔn)壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)都可以根據(jù)用戶需求定制.
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)規(guī)格參數(shù)
| 型號(hào) | SR-4011 | SR-4513 |
| 口徑 | 9mm | 8mm |
| S閉環(huán)傳感器分辨率 | 15μ° | 15 μ° |
| 角度分辨率 | < 1 μ° | <1 μ° |
| 掃描范圍 | > 4 m° | > 4 m° |
| 行程范圍 | ∞ | ∞ |
| 定位臺(tái)尺寸 | 40x 40x 11 mm3 | 45 x 45 x 12.5 mm3 |
| 負(fù)載 | 10N(1Kg) | 20N(2Kg) |
| 適合***大真空度 | 10-6 mbar | 10-11 mbar |
| 角速度 | 15度/秒 | 15度/秒 |
| 步進(jìn) | 0.3 – 2.0 m° | 0.3 – 3.0 m° |
| ***大頻率 | 18.5KHZ | 18.5KHZ |
| 阻尼力Mb | 5N cm | 5N cm |
| ***大正向力Fn | 10N | 20N |
| 旋轉(zhuǎn)臺(tái)尺寸 | ?31mm | ? 36 mm |
| 重量 | 60g | 89g |
| S閉環(huán)分辨率 | 15 μ° MSC/SDC | 15 μ° MSC/SDC |
| L閉環(huán)傳感器分辨率 | 60 μ° | 60 μ° |
| L閉環(huán)分辨率 | 60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU | 60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU |
| M閉環(huán)傳感器分辨率 | 500 μ° | 500 μ° |
| M閉環(huán)分辨率 | 500 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU | 500 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU |
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)SR-4011材料和真空選項(xiàng)
鋼底座（-ST）
硬端止動(dòng)塊，樣品短管支架
-真空（10-6m Bar）
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)應(yīng)用案例
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)搭建的3D晶圓定位系統(tǒng)（4英寸晶圓）
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)應(yīng)用案例
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)搭建的3D晶圓定位系統(tǒng)（4英寸晶圓）
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孚光精儀（中國(guó)）有限公司
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