氮氣熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
根據熱效應的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與質量流量Q有確定的數學關系式。 P/△T=K1 K2 f(Q)K3 K1、K2、K3是與氣體物理性質有關的常數。 熱式氣體質量流量計*的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質量流量計測量煤氣流量時因煤氣中含水、油和雜質而造成的很大的零點漂移，導致無法測量的弊端。它也可以用于測量濕氣體的質量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風，排風系統中的風量（速）的實時檢測。

一、技術參數
適用介質：與不銹鋼相兼容的一切氣體
測量范圍：0.05 - 120m/s
工作溫度：-40℃ - 510℃
環境溫度：-40℃ - 85℃濕度小于90%RH
壓    降：對于直徑大于或等于3英寸的管道可以忽略不計
電源要求：18 - 30VDC大600mA/180 - 230VAC大2.5W/100VAC大3.15W
輸出信號：與質量流量成比例的線形4-20mA與溫度成比例的線形4-20mA
精       度：1%的讀數±0.5%的滿量程
重  復  性：±0.2%F.S
耐       壓：4.2MPa
響應時間：≤850ms。
外殼材料：壓鑄鋁，A2/A4可選
探頭材料：316L，鉭，鈦等可選
球       閥：316L
緊壓接頭：316L/304
法       蘭：316L/304
報警輸出：繼電器常開觸點容量220AC/3A或24VDC（只針對流量值的報警輸出）、可以溫度輸出
顯      示：寬屏LCD顯示，參數及變量可通過面板上按鍵設定（帶密碼保護）
防護等級：IP65（不同廠家不同等級）
二、安裝管段要求

若干擾源（如：管彎曲處、漸縮管、閥、T形管等）處于熱式儀表的進氣管道處，請 務必采取措施以最大限度地降低其對測量性能的影響。 可根據說明書的圖示介紹了不同類型管道的最小推薦直管段長度。若測量空間足夠大，應盡可能 擴大直管段長度。不考慮其它因素影響時，氮氣熱式氣體質量流量計傳感器的最小推薦直管段長度為： 前直管段： 最小為20×DN 后直管段：最小為5×DN