技術參數
1.微聚焦X光管zui大功率40kV, 1.0mA
2.試樣上X光聚焦點直徑300um,100um,40um
3.10x黑白，100x(200x)彩色CCD攝像頭
4.樣品室尺寸330x250x330mm
5.自動樣品臺行程100x100x100mm
主要特點 
 1.樣品范圍寬:液體,磁性,絕緣體,少量粉末等。
2.樣品尺寸大：塊狀樣品可達250x200x90mm。
3.焦點小，可進行點、線、面的分布分析。
4.能量利用率高，X光管功率小，維護簡便。
5.無損檢測，使用方便，自動化程度高。 
儀器介紹
 EAGLE III聚焦型掃描X-射線熒光能譜儀也稱熒光探針，采用聚焦X射線照射，光路系統采用正置式，可在大氣壓力或低真空環境下檢測樣品。該儀器可進行視頻圖象采集和圖象拼接，微區及整體成分的定性定量分析，以及線、面元素的分布分析，檢測極限為ppm級。