CS200D 數字式氣體質量流量控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CS200D
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2020/6/20 9:29:19
- 訪問次數 9163
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北京華丞電子有限公司（以下簡稱“華丞電子”）是由北京七星華創流量計有限公司、北京七星華創集成電路裝備有限公司及北方華創微電子裝備有限公司射頻業務單元整合而成的工業領域核心零部件及解決方案科技企業，華丞電子立足于集成電路、新能源等工業領域的科技前沿，集聚了多項先進零部件技術核心人才，致力于成為一家全面的工業零部件解決方案供應商。
華丞電子傳承了數十年在流量測控、射頻技術和自動化設備等領域的專業優勢，技術積和創新能力。產品迭代升級的同時，華丞電子依據客戶新的產品需求不斷探索研究，深挖技術，創新產品，拓寬產品線，形成了流量測控、壓力測控、氣路系統、射頻電源、匹配器、磁流體密封裝置、傳輸系統、自動化裝備等系列產品，為半導體、光伏、燃料電池、真空鍍膜等領域提供解決方案。華丞電子布局六大研發/生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區。
在新的征程上，北京華丞電子有限公司將攜手所有合作伙伴，共同開創電子科技領域的新篇章，為構建智慧社會貢獻我們的力量。
氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器
| 應用領域 | 綜合 |
|---|
CS200質量流量控制器&流量計
CS200D數字式氣體質量流量控制器，采用*傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產品*快可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統誤差小化，所需流量更加精準。
優勢
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。
• CS200C產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，CS200D產品金屬表面粗糙度可達25RA。
• CS200產品嚴格按照SEMI標準生產制造，尺寸符合通用的SEMI標準。
• CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。
• 產品支持RS485，DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。
CS200D數字式氣體質量流量控制器技術參數
CS200 | ||||||
型號 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
閥類型 | 常開(流量規格 ≤ 30SLM) | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 |
流量規格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||
重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||
響應時間 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa | ＜0.02 MPa |
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||
溫度系數 | 零點： ≤±0.05% F.S./℃； | 零點： ≤±0.02% F.S./℃； | ||||
耐壓強度 | 3MPa | |||||
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
密封材料 | 氟橡膠 | 金屬密封 | ||||
工作環境溫度 | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
輸入信號 | 數字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | 無 | 數字： RS485 | 無 | 數字： RS485 | 無 |
輸出信號 | 數字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | |||||
零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 | |||||
電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |||||
表面化學成分 | 常態 | Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃） | 常態 | |||
表面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
標準接頭形式 | 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3； | 雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽接頭； | ||||
電源接頭形式 | D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 | |||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |
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