CS310C 數字式氣體質量流量控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號 CS310C
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2017/2/10 15:21:00
- 訪問次數 8209
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高精度型,快響應型,全金屬密封型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
CS310C數字式氣體質量流量控制器技術參數:
產品型號 | CS310C |
產品類型 | 高精度型,快響應型,全金屬密封型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾 |
流量量程 | 1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產品精度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional),±0.35% F.S. (<35% F.S.) (±0.24% F.S. (<30% F.S.) optional) |
重復精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5% F.S. |
響應時間 | ≤0.8sec |
工作溫度范圍 | (0~50)°C |
耐壓 | 3.5MPa |
密封材料 | 金屬密封 Metal |
輸入輸出信號 | RS-485,DeviceNet |
電源 | ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
閥類型 | 常開或常閉 |
溫度系數 | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero ≤±0.02% F.S./℃ |
零點飄移指標 | <0.6%F.S. per year without autozero |
電氣連接 | D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工作壓差范圍 | (0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm) |
漏率 | 1×10-10atm•cc / sec He(1×10-11 Pa•m3 / sec He) |
標準接頭形式 | VCR1/4”,IGS W型,IGS C型 |
表面化學成分 | Cr/Fe ratio >2.0,CrO thickness >20 Angstroms |
表面粗糙度 | 5µinch |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1Kg |