TEM-100系列 TEM過濾器GasPro TEM-160-24用于半導體行業(yè)
- 公司名稱 上?；壑倒I(yè)設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 TEM-100系列
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/8/24 16:39:45
- 訪問次數(shù) 1376
聯(lián)系方式：王經(jīng)理15801983619 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 絲網(wǎng)型式 | 其他 | 應用領域 | 環(huán)保,電子,冶金,電氣,綜合 |
|---|
TEM過濾器GasPro TEM-160-24用于半導體行業(yè)
GasPro TEM-100系列
電拋光外殼過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼，防止腐蝕和腐蝕粒子在內(nèi)表面上堆積。
包裝外清潔度我們的加斯普羅? 清潔TEM-100過濾器，并在無塵室內(nèi)包裝，不含有機成分處理包裝外、無顆粒和無化學品清潔度。終組件被清除用過濾氮氣進行初始清潔。附加的預處理是可選的。
多種配件選項，便于安裝標準配件選項包括端面/墊片密封，壓縮、對焊和NPT。特殊配件，包括三夾（三葉草）衛(wèi)生和法蘭類型，可根據(jù)要求提供。
氦泄漏測試所有裝置均以1x10-9 atm cc/秒的速度進行測試。
零件號、入口/出口配件、過濾介質(zhì)/外殼、其他材料、長度（L）
TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口
PTFE/316L不銹鋼鋼聚丙烯
氟橡膠密封件*899.9毫米（35.43英寸）
TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm（34.0”）
TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm（37.25”）
TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm（35.0”）
GasPro 過濾器TEM-150-24技術規(guī)格
GasPro?TEM-100在線高流量ePTFE濾器TEM-128-24
GasPro?TEM-100系列濾光片的設計波長為3 nm顆粒截留率高達300 scfm，以及溫度敢達80C（176°F）。ePTFE膜（2.04m2/22.0平方英尺)帶著
聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在不銹鋼316L外殼，具有的流動性和穩(wěn)定性耐化學性。使用標準Viton o形圈（其他o形圈材料可在重新測試時獲得）。TEM過濾器GasPro TEM-160-24用于半導體行業(yè)
應用
?一般和工藝惰性氣體設施半導體、平板顯示器和其他高純度應用。
?用于關鍵平板工藝的氣體，包括襯底退火。
?關鍵工藝的清潔干燥空氣，包括：前開口統(tǒng)一吊艙（FOUP）清潔和安裝光刻。
規(guī)格
?過濾等級我們的多孔ePTFE濾光片可提供有效的3納米濾光片顆粒保留。
?高工作溫度*80攝氏度（176華氏度）。
建議更換：在69C（156°F））以上運行6個月。
?大工作壓力在20°C（68°F）條件下為17.2bar（250 psig）。
?大正向流量壓差
20?C（68?F）：6.0bar（87磅/平方英寸）
80?C（176?F）：4.0bar磅/平方英寸）
采購中心
化工儀器網(wǎng)