HTGSRM-1000型高溫氣敏材料測量系統

關鍵詞：氣敏材料，流量控制，

HTGSRM-1000高溫氣敏電阻測量系統主要用于測量電阻型氣體傳感器材料的氣敏特性，采用兩線或四線電阻測量原理設計開發。該系統采用外部控溫，使得氣敏元件測試擺脫了對器件的依賴，*保持材料的形貌和結構。測量系統支持動態配氣系統及高真空抽氣系統，從而有利于表征材料在不同的濃度（ppb甚至ppt量級）及氣壓（特別是氧壓）下的氣敏特性。該系統可用于實驗，批量生產中各種納米材料、厚膜/薄膜材料、孔材料、粉體/粒子材料、塊體材料、半導體、碳管、有機物等氣敏元材料特性進行分析。測量精度和范圍依據選配的測量儀表決定。

一、   產品特點：

1、主機采用一體化實際，一鍵式操作。

2、多種測量方式，精密測量夾具，測量好

3、常溫，高溫，氣氛，真空多種環境下測量

4、軟件功能強大，實現常溫、變溫、恒溫條件下的I-V、R-t、S-T。自動分析數

據，可以分類保存，樣品和測量方案結合在一起，生成系統所需的實驗方案，輸

出TXT、XLS、BMP等格式文件

5、支持國內外各種源表，可與美國吉時利表Keithley2400數字源表，Keithley2635A數字源表等無縫對接。

6、支持個性化定制，不同的測試樣品，不同的夾具。二、主要技術參數：

1、溫度范圍      0—600℃，0—800℃，0—1000℃多種可選

2、測溫精度      0.1℃

3、升溫速度      1—20℃/min

4、控溫模式      程序控制，提供常溫、變溫、恒溫、升溫、降溫等多種組合方式

5、測試方法：兩線法或四線法

7、測試頻率      200Hz—50MHz（根據各種源表）

8、電極材質      鉑銥合金

9、電阻測量范圍：0-100MΩ

10、氣敏電阻：1Ω-200MΩ

11、保護電極    帶保護電極，消除寄生電容、邊界電容對測試的影響

12、電極干擾屏蔽   電極引線帶同軸屏蔽，樣品平臺帶屏蔽罩

13、夾具升降控制   帶程序和手動控制，可更換夾具的電動升降裝置

14、熱電偶 熱電偶探頭與樣品平臺為同一熱沉，測控溫度與樣品溫度保持一致

15、樣品尺寸    直徑小于40mm，厚度小于8mm

16、流量量程：配置3個流量計（0-500sccm，0-2000sccm，控制范圍：2%-100%）

17、軟件功能：自動分析數據，可以分類保存，樣品和測量方案結合在一起，生

成系統所需的實驗方案，輸出TXT、XLS、BMP等格式文件

18、測量方案    提供靈活、豐富的測試設置功能，包括頻率譜、阻抗譜、介電譜

及其組合

19、接口方式：包括KeysightWayneKerrTonghui等多種LCR接口，

20、外形尺寸    L360mm*W370mm*H510mm

21、凈   重          22KG