VTC-100PA 科晶真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
- 公司名稱 森瑪特儀器(北京)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) VTC-100PA
- 產(chǎn)地 合肥
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/12/8 11:20:00
- 訪問次數(shù) 1357
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,航天 |
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產(chǎn)品概述:
VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。
主要特點(diǎn):
- 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
- 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
- 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
- 設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。
- 電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
- 50W/24V 直流電機(jī)
- 適于在Ar氣環(huán)境中工作(真空泵放置在手套箱外)
參數(shù):
- 電機(jī)功率:50W/24V
- 速度范圍:500-10000rpm
- 程序運(yùn)行:可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段
- 增減速率設(shè)置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
- 時(shí)間范圍:0-60s
- 吸盤:Φ19mm、Φ60mm
進(jìn)氣口:上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體,實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
可選加熱部分:上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數(shù)字溫控器控溫,*高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。
產(chǎn)品規(guī)格:
- 尺寸:450mm×280mm×340mm;
- 重量:20kg