產地類別 | 進口 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,能源,建材,電子 |
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電極 | 360度外置環繞電極 | 外形尺寸 | W525xD450xH450mm |
電源 | AC220V 50Hz 10A | 真空泵 | 排氣速度8m3/H |
工藝氣路 | 兩路 |
10.5 升的diener plasma低壓等離子清洗機為手動型,配有 PC 和 PCCE 控制系統,適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層。
特點:
·緊湊型設計,節省空間
·輸出功率最大 300W,連續可調
·7寸觸摸屏人機交互界面(PCCE控制)
·存儲5套工藝參數(PCCE控制)
·操作簡單
用途
·用于不同材料表面的處理
·適合于研究所、高校、研發中心使用
·兼容8''及以下Wafer的表面處理
diener plasma低壓等離子清洗機產品參數:
選購品:單體導入模塊、發泡瓶、石英腔體、石英托盤、鉸鏈門、數字/模擬計時器(手動控制)、皮拉尼真空計、法拉第盒、H2泄漏檢測(PC控制)、溫度傳感器(PC控制)、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥