產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫療衛生,環保,生物產業,農業 |
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控制方式 | 全自動控制(自動/手動切換) | 工藝氣體 | O2、Ar、N2、CF4、SF6等 |
工藝氣路 | 1-10 | 流量計 | MFC |
真空腔體 | 鋁合金350x350x350 | 真空腔體容積 | 42L |
樣品臺 | 旋轉樣品臺 | 外形尺寸 | W600xD850xH1700mm |
Diener 等離子去膠機 Tetra42
特點:
·便捷的觸摸屏操作界面
·專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權限分級設定
·數字及圖形化工藝參數控制及實時顯示
·支持6"/8"/12" wafer的去膠清洗
·安全及異常報警功能
·多語言:法語、英語,德語,中文
Diener 等離子去膠機 Tetra42用途
· 去除光刻膠
· 干刻或濕刻處理前或后
· SU-8或其他環氧基樹脂
· MEMS制造中去除犧牲層
· 去除光刻膠,SU-8,環氧樹脂
上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經銷國內外儀器的專業公司。秉承“銷售*儀器、提供優質服務”的宗旨,在制藥、化工、環保、科研、大學、醫學等領域開拓了廣泛的市場,并贏得了廣大用戶的支持和信賴。爾迪在今后的發展中,將貫徹誠信、服務、務實、創新的經營理念,一如既往地把國內外優秀的儀器設備介紹并提供給國內的用戶。孜孜追求,不懈努力,不斷提高服務水平,為提升用戶的檢測水平和科研水平貢獻各自的綿薄之力,與廣大用戶共同享受科技成果,在互利協作中共同進步。