概要

實現對高純度氣體連續監測，主要應用于空分和半導體行業。

實現對高純度氣體中的痕量雜質氣體 (CO, CO₂ 和 CH₄) 的感度連續測量。

特征

感度分析

• 采用交替流動調制方式的非分光紅外吸收原理可以實現無零點漂移的長期安定的連續測量。

• 小檢出限可達10ppb，尤其適合追求高精度的現場測量。

• 使高純氣體中的痕量氣體檢測成為可能。典型平衡氣氣體N₂，O₂，He，Ar，H₂和空氣。

操作簡單，無需維護

• 使用時無需任何特使操作，校正和測量等全部操作均可在顯示畫面上進行。

• 采用HORIBA的    技術-交替流動調制方式，無需光學調整，無需維護。

• 彩色液晶顯示屏，觸摸操作可以顯示彩色趨勢圖，有更好的可視性 。

典型應用

一般情況下，作為工業用氣體使用的氧氣，氮氣是通過空氣分離來制造的。

首先將除去水分和CO₂的原料空氣通入分離裝置，分離裝置時利用氮氣、氬氣和氧氣三者氣體的沸點不同進行分離出不同氣體。

氫氣和氦氣也是利用類似的氣體分離裝置制備。

GA-370測量實例。高純度氮氣、氬氣、氧氣制造行業痕量氣體的測定。

除去水分、CO₂后原料氣體中痕量氣體的測量。

測量原理

交替流動調制方式雙光路非分光紅外吸收原理

GA-370用一束紅外光透過檢測室射入檢測器，測量過程中通過切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測室。

測量樣氣和參比氣體使用相同的氣體（例如零點氣體）時，無法產生調制信號，因此不會產生漂移，解決了 痕量氣體分析中的零點漂移宜問題。

而且使用雙光路檢測氣室，以相反的相位導入測量樣氣和參比氣體，可實現了長期安定穩定運行，無需光學調整。

氣體流程圖

規格

* 注 1) 參比氣體和量程氣由用戶提供，氣瓶的精度需滿足測試要求。
* 注 2) GA-370 痕量氣體分析儀在特殊場合下并不安全。例如，在含H2的環境中使用時需配合防爆小屋以避免爆炸。