Centrotherm RAPID 150 Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Centrotherm RAPID 150
- 產地 德國
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/9/25 16:15:34
- 訪問次數 907
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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子 |
|---|
Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150
一、產品簡介
德國Centrotherm公司是國際主流的半導體設備供應商，尤其在高溫設備領域。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火設備，主要用于滿足研發和小規模量產所需的多種工藝要求。
Centrotherm測溫系統適用于從室溫至高溫的廣泛區間。Centrotherm優化的多區溫控系統結合可以獨立控制的加熱燈，提供了出色的控溫精度和控溫重復性。
此款設備配置手動裝載系統，適用于研發以及小型的量產。
成熟的真空操作和氣體管理系統為多種應用提供了可控的氣體環境。出色的性能和高度的靈活性，結合小的占地面積，低的客戶擁有成本，使c.RAPID 150成為一款最佳的手動RTP設備。
二、典型應用
退火：一般退火、接觸層（Contact）退火、源/漏退火、勢壘金屬退火
硅化
氧化
摻雜活化
三、產品特性
可在常壓或者真空（控壓）下工作
高度靈活性：適用于最大6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盤
升溫速率約150 K/s
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