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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>其它實驗室常用設備>其它實驗室設備>BTF-1200C-II-R-CVD 連續進出料回轉CVD生長設備

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BTF-1200C-II-R-CVD 連續進出料回轉CVD生長設備

具體成交價以合同協議為準

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


      安徽貝意克設備技術有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設備研發、生產、銷售與技術服務于一體的高科技企業。

      公司重視技術攻關和產品研發,建有超卓的產品研發中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業研發隊伍,累計獲得patent200余項。并通過產學研合作,與北京大學南開大學等多所院校建立聯合實驗室及研究生聯合培養基地
      公司專注于新材料裝備工藝開發及裝備制造,產品門類涵蓋了OLED材料提純專用設備系列、碳材料制備設備系列、半導體專用設備系列及金屬納米顆粒設備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關系,市場營銷網絡遍布全球各地。
      連年來,公司相繼被認定為“高新技術企業”“專精特新企業““科技小巨人培育企業”“石墨烯生長設備工程技術研究中心”“瞪羚企業”“雛鷹企業”,并接連獲得“中國隱形獨角獸500強”“科技創新獎”“創新創業獎”等多項榮譽。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,CVD系統,PECVD系統, 等離子清洗機,陶瓷材料燒結設備

產地類別 進口 應用領域 電子,綜合

1、連續進出料回轉CVD生長設備主要特點

  該設備爐管可360°旋轉,有助于粉料的燒結更均勻,可大角度傾斜,方便進出料,傾斜角度在0-35°之間。

  2、設備組成:加熱系統,進料系統,出料系統,氣體控制系統,低真空系統,爐管轉動系統,電控操作系統。

  (1)加熱系統:

  該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統。

  高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求。

額定功率

4KW

額定電壓

AC220V  50/60Hz

最高溫度

1200度

使用溫度

1100度

爐管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

 

爐管旋轉速率

0~60r/min

爐體傾斜角度

0~35°

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數自整定,

操作界面為10”液晶觸摸屏控制

加熱長度

200mm+200mm

恒溫長度

250mm

加熱元件

電阻絲

       (2)連續進出料回轉CVD生長設備進料系統:

  送料系統速度連續可調,停止送料且爐體傾斜最大時,物料不會從送料系統外漏,送料系統方便拆卸,拆卸后可手動加料,設備可正常運行。

  (3)出料系統:

  出料系統在爐體傾斜出料時可自動出料。

  (4)氣體控制系統:

  該控氣系統是可以控制兩種氣體按照不同流量進行混合配比的,也可以獨立控制,質量流量計安裝于密封的可移動的機柜內,由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

第一路:  200 SCCM

第二路:  500 SCCM

第三路量程可選

準確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

       (5)低真空系統:

  該系統配備真空機械泵,可以抽真空,可以讓設備在真空環境下進行反應。

空氣相對濕度

≤85%

工作環境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連  

       (6)爐管轉動系統:

  爐管轉動系統可以讓爐管360°勻速轉動,轉速在0-60r/min連續可調,且能在60r/min轉速下長時間運行。

 

  3.技術指標:

  (1)該設備爐管可360度旋轉,管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;

  (2)整個爐子和送料、收料系統能夠一起傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間可調;

  (3)送料系統送料速度連續可調,停止送料且爐體最大傾斜時,物料不從送料系統外漏。送料系統方便拆卸,拆卸之后可以手動加料,設備可正常運行。

  (4)爐管回轉穩定,不會上下左右跳動;轉速在0~60r/min連續可調,能在60r/min轉速下連續長期運轉(>24h)。




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