GSL-1100X-SPC-16M 磁控濺射鍍膜儀
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- 公司名稱 上海添時科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 GSL-1100X-SPC-16M
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/12/4 10:42:17
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應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子 |
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主要特點:
1、設有真空表、濺射電流表,可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。
2、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得最佳鍍膜效果。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
5、根據電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
6、濺射頭采用Peltier制冷技術,可得到高性能、精細顆粒的涂層。
7、可用水冷濺射頭、水冷載物臺。
技術參數:
產品名稱 | GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀 | |
產品型號 | GSL-1100X-SPC-16M | |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設備需選配自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通風裝置:不需要 | |
主要參數 | 1、靶:?50mm 2、真空室:?160mm×120mm 3、真空度:≤4×10-2mbar 4、max電流:50mA(可選100mA) 5、可設定極*:9999s 6、微型真空氣閥:連接?3mm軟管 7、極限電壓:1600V DC 8、機械泵:2L/s | |
產品規(guī)格 | 尺寸:360mm×300mm×380mm。 | |
標準配件 | 1、金靶材1個 2、進氣針閥1個 3、保險絲2個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 |