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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>制樣/消解設備>離子濺射儀>GSL-CKJS-450-B1 磁控濺射儀

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GSL-CKJS-450-B1 磁控濺射儀

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上海添時科學儀器有限公司是一家代理國內外儀器的經銷及技術服務的專業公司。國內管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機,電池測試恒溫箱,金剛石線切割機,磁控濺射儀,蒸發鍍膜,PECVD設備供應商!

公司所涉及的產品遍布大專院校、科研單位、工廠企業、商檢、農業、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業。

主要產品:生命科學儀器,化學分析儀器,光學儀器,物性測試儀器及設備,環保設備/流量儀表,行業專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農業和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質儀器,電工儀器儀表,自動化儀表,氣象儀器,環保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機械等。并且提供與生物技術相關的實驗室科研儀器設備、實驗室耗材與試劑、實驗室設計、規劃、改建等服務。公司以“高品質,高服務,高信譽”贏得各地市場,各個領域的好評和歡迎。

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紫外可見分光光度計,原子熒光光度計,原子吸收分光光度計,紫外分光光度計,氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點儀

產地類別 國產 價格區間 面議
應用領域 化工,電子
    磁控濺射儀主要特點:

    1、真空度高。

    2、可制備多種薄膜,金屬、半導體、絕緣體等,應用廣泛。

    3、體積小,操作簡便。

    4、清理安裝便捷。

    5、控制可選一體化觸摸屏控制

    技術參數:

產品名稱 GSL-CKJS-450-B1磁控濺射儀
安裝條件 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用.
1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC380V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設備腔室內需充注氮/氬氣(純度99.99%以上),需自備實驗氣體氣瓶(自帶Ø10mm雙卡套接頭)及減壓閥
4、場地:設備尺寸3500×1600mm,承重1000kg以上
5、通風裝置:需要
主要參數 1、主濺射室尺寸:Ø450×355mm筒形真空室
2、主濺射室真空度:5×10-5Pa
3、永磁靶3套,靶材尺寸φ2″,各靶射頻與直流濺射兼容(其中1個靶可濺射鐵磁材料),靶與樣品距離90-110mm可調
4、三靶共濺,三個靶可共同折向樣品中心,距離40-80mm可調
5、基片加熱與水冷獨立工作,加熱爐可與水冷樣品臺可互換,加熱工位最高溫度600℃±1℃
6、樣品尺寸:φ1″
7、樣品臺可連續回轉,轉速5-15轉/分
8、基片可加-200V負偏壓
9、公轉6工位樣品臺,可一次性安裝6片φ1″基片
拆下水冷加熱樣品臺可換上6工位樣品臺,其中5個工位為自然冷卻工位,1個加熱工位,加熱工位溫度600℃±1℃
產品規格 整機尺寸:1500×900mm×2000mm;
標準配件 1、電源控制系統1套
2、真空獲得系統1套
3、真空測量裝置1套


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