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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>等離子清洗機>CPC-10/Plus CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列

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CPC-10/Plus CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列

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等離子清洗機

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企業歷程 :

◆ 2006 年,在美國加州洛杉磯注冊成立賽福國際集團有限公司(CIF International Group Co.,Ltd)。成立之初是一 家面向大學科研院所銷售儀器設備的供應商。

◆ 2008 年, 自主研發生產石墨電熱板以來, 先后研發生產酸蒸逆流清洗器、酸純化器、智能消解儀等理化實驗儀器設備, 從此走上研發生產專業化道路。

◆ 2010 年,掌握了等離子核心技術,自主研發生產科研型等離子清洗機系列產品。

◆ 2014 年, 在中國注冊成立華儀行(北京) 科技有限公司, 正式進入中國市場, 部分儀器設備研發、制造業務移至中國。

◆ 2015 年,自主研發生產專為處理粉體樣品而設計轉瓶等離子清洗機。

◆ 2017 年,自主研發生產紫外臭氧清洗機系列產品。

◆ 2018 年,在中國成注冊立賽福儀器承德有限公司,將研發制造業務全部移至中國。

◆ 2019 年,電鏡專用遠程等離子清洗機研發成功。

◆ 2021 年,自主研發生產中試、生產型等離子清洗系列產品,完善了等離子產品線。

◆ 2023 年,科研型等離子去膠機、RIE 蝕刻機研發成功。


公司專注材料表面處理技術:

◆ 改性(等離子清洗機、紫外臭氧清洗機)                   ◆ 去膠(等離子去膠機)

◆ 蝕刻(等離子刻蝕機)                                              ◆ 涂層(等離子濺射鍍膜機、勻膠機、烤膠機)

企業愿景:

致力于為全球用戶提供專業的表面處理整體解決方案。

企業使命:

CIF與我們的員工、客戶乃至商業伙伴在內的所有人,同呼吸,共命運,共同成長,共同發展,共同成就夢想!


半導體領域儀器設備:等離子清洗機、紫外臭氧清洗機、勻膠機、烤膠機等。 理化實驗室儀器設備:酸蒸逆流清洗器、真空趕酸系統、酸純化器、智能消解儀、恒溫電熱板等

產地類別 國產 應用領域 環保,生物產業,地礦,能源

產品特點:

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

◆  PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙,真空管路系統采用 316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

◆  采用質量流量計,實現對氣體輸入精準控制,改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

◆  HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

◆  60 度傾角操作界面設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

◆  頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便。

◆  采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

◆  有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆  安全保護,艙門打開,自動關閉電源。


技術參數:

 

型號

CPC-10

CPC-10plus

CPC-10M

CPC-10Mplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-300W

0-600W

0-300W

匹配器

自動匹配

自動匹配

激發方式

電容式

電容式

氣體控制

雙浮子流量計

單路 MFC(可選兩路)

艙體尺寸

L300xΦ215mm

L300xΦ215mm

艙體容積

10.8L

10.8L

艙體材質

不銹鋼

不銹鋼

有效處理尺寸

L300xW215mm

L300xW215mm

時間設定

9999 秒

9999 秒

真空泵

抽速 8m3/h

抽速 8m3/h

氣體穩定時間

1 分鐘

1 分鐘

真空度

100pa 以內

100pa 以內

   

AC220V 50/60Hz  766/466W

AC220V 50/60Hz  752/452W

產品尺寸

L645xW550xH495mm

L645xW550xH495mm

包裝尺寸

L750xW700xH720mm

L750xW700xH720mm

整機重量

55kg

55kg



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