CPC-10/Plus CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列
- 公司名稱 華儀行(北京)科技有限公司
- 品牌 CIF
- 型號 CPC-10/Plus
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/10/25 15:59:51
- 訪問次數 2145
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 環保,生物產業,地礦,能源 |
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產品特點:
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。
◆ PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。
◆ 石英真空艙,真空管路系統采用 316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。
◆ 采用質量流量計,實現對氣體輸入精準控制,改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問題。
◆ HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
◆ 60 度傾角操作界面設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。
◆ 頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便。
◆ 采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
◆ 上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。
◆ 有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。
◆ 安全保護,艙門打開,自動關閉電源。
技術參數:
型號 | CPC-10 | CPC-10plus | CPC-10M | CPC-10Mplus |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-600W | 0-300W | 0-600W | 0-300W |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 | ||
激發方式 | 電容式 | 電容式 | ||
氣體控制 | 雙浮子流量計 | 單路 MFC(可選兩路) | ||
艙體尺寸 | L300xΦ215mm | L300xΦ215mm | ||
艙體容積 | 10.8L | 10.8L | ||
艙體材質 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | ||
有效處理尺寸 | L300xW215mm | L300xW215mm | ||
時間設定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
真空泵 | 抽速 8m3/h | 抽速 8m3/h | ||
氣體穩定時間 | 1 分鐘 | 1 分鐘 | ||
真空度 | 100pa 以內 | 100pa 以內 | ||
電 源 | AC220V 50/60Hz 766/466W | AC220V 50/60Hz 752/452W | ||
產品尺寸 | L645xW550xH495mm | L645xW550xH495mm | ||
包裝尺寸 | L750xW700xH720mm | L750xW700xH720mm | ||
整機重量 | 55kg | 55kg |