美國MKS流量控制器GE50A系列原廠直采

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   GE50A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。

對于當今市場上的質量流量控制器，GE50A可作為直接替代的產品，標準的3英寸底座使GE50A能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。

該GE50A數字控制質量流量控制器可配備RS485，PROFIBUS，EtherCAT的，或DeviceNetI / O。 數字電子控制利用快速和可重復響應的MKS控制算法在整個設備控制范圍內設定值。 典型的反應時間是500毫秒的量級。 數字校準收益率校準氣體設定精度為1％。 I / O協議旨在讓GE50A輕松地與較小的編碼代替MKS 1179A MFC的RS485和DeviceNet版本。

   一個標準的3英寸的足跡使得其無需修改現有的天然氣生產線配置使用。 該GE50A采用了一些彈性體 - 只有一個外部彈性體密封和彈性體閥塞。 所有濕潤的表面是金屬。 該GE50A帶有氟橡膠密封件或可選布納，Neoprene或的Kalrez標準，支持不同的氣體需求。

   GE50A是通用的，彈性體密封的MFC，非常適用于各種需要流量控制能力從5 sccm到50 slm N2的應用當量。GE50A集成了比較新的數字流量控制電子設備以及久經考驗的，獲得熱傳感器和機械設計。

   GE50A數字控制MFC可提供模擬或數字I / O。數字化控制電子器件采用比較新的MKS控制算法，可提供快速，可重復的功能在整個設備控制范圍內對設定點的響應。典型的響應時間在500毫秒的量級。

   包括數字校準，可產生設定點精度的1%在校準氣體上。 GE50A的模擬和數字I / O可以輕松用于替換與1179A MFC相同的I / O類型。所有GE50A均包含Modbus。輔助I / O(不包括PROFINET?和EtherCAT?)。

   GE50A利用3sccm的MFC比較常使用的標準3英寸占位面積到50 slm的流量范圍，無需修改現有的氣體管線即可使用配置。 GE50A的設計采用了比較少的彈性體。有僅一個外部彈性體密封件和彈性體閥塞。

   否則，所有濕潤的表面是金屬的。 GE50A標配Viton?密封件以及Buna選件，Neoprene?，EPMD或Kalrez?允許設備使用需要以下氣體之一的氣體備擇方案。 GE50A MFC具有常閉型或常開型閥。

MKS流量控制器GE50A系列技術參數：

   全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。

   控制量程：2% to 的全量程。

   測量精度：全量程的1%

   靈敏度：全量程的0.1%

   熱機時間：小于2Min.

   響應速度：小于2Sec.

   輸入電壓：±15VDC@100ma

   輸出電壓：0-5VDC

   連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

   數字：RS485或Device net或Profibus

   法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等

   材質：316不銹鋼。

   質保期：有限保修自售出之日起12個月。

美國MKS流量控制器GE50A系列原廠直采