半導體設備隔振臺架（電控空氣彈簧型）

產品描述：

優良的不銹鋼工作臺面和高剛度支撐鋼架桌腿之間裝有ADS主動控制膜片式空氣彈簧，可抵消受到微小振動的影響。簡化的設計使其可以成為工作站環境的一部分，無需后續調整。

ADS-ICD 結構

基于膜片的空氣彈簧，外殼、支撐板和底板由鋁制成。

ICD空氣彈簧系統構成

· 4 個空氣彈簧

-3個帶傳感器和控制閥的ADS主控空氣彈簧

-1 個無傳感器和閥門的ADS被控空氣彈簧

· 1 個控制單元，3 通道電路板帶有 USB 接口

· 主控彈簧的通信電纜

· 壓力調節閥（NW 4 模塊）

· 電源適配器

選 項

· 控制單元：塑料外殼中的電路板

· 控制電纜的連接器

· 過濾器 - 調節器組件由壓力調節器、壓力表、過濾器、水分離器組成

· 控制電纜：3 根控制電纜的長度符合客戶需求

· Air Level Control 軟件

· USB 線纜

· 根據空氣彈簧的數量，增加軟管和連接器

系統功能

空氣彈簧具有出廠默認配置。同時，通過控制軟件可以改變以下參數：復位精度、允許的變形量、響應時間、平均高度。這些參數可以被查看，調整，并存儲在每個彈簧中。即使在斷電后，這些值也會保留。可以通過控制軟件恢復默認配置。

控制單元

調節參數

· 復位精度：

-粗略 (± 0.5 mm）

-精準 (± 0.1 mm)

-用戶定義 (± 0.01 - 1 mm)

· 允許偏差（變形量）

-寬 (± 1.0 mm)

-窄 (± 0.5 mm)

-用戶定義 (± 0.01 - 1.5 mm)

· 響應時間

-快 (10 ms)

-慢 (125 ms)

-用戶定義 (5 - 125 ms)

· 工作高度

-中間位置 (± 5 mm),

-電位計調整

-控制軟件調整

ADS主動控制膜片式空氣彈簧選型參數：

單位：mm

注：根據用戶需求可定制，有一系列定制選項可供選擇。

應用范圍：

高精度工具對振動敏感，需要振動隔離才能獲得好的性能。