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半導體流量控制器

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青島芯笙微納電子科技有限公司,位于青島市嶗山區國際創新園,孵化自山東大學。公司以氣體質量流量計/控制器(MFC)、薄膜真空計(Vacuum Gauges)、壓力控制器(EPC)等半導體核心零部件的研發、生產和銷售為主營業務,通過自主創新、產學研合作及成果轉化、行業整合等手段,實現快速發展,助力國家半導體產業的發展。
公司現有發明Z利21項,實用新型12項,計量證書、CE認證、TUV EMC認證、防爆認證等各類證書30余份,從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術能力。核心研發成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構以及國內儀器儀表企業,全力打造國內研發團隊。
公司獲評國家高新技術企業、青島市“專精特新”企業,承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發機構,并承擔多項科技部重點研發計劃、山東省重大創新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題。

公司現有千級和萬級潔凈廠房3000余平米,在青島、深圳濰坊等地設有制造基地和研發中心,全面保障產品的高質量、快速出貨能力,并提供專業的售前售后服務。

 

 

 

質量流量控制器,質量流量計

應用領域 醫療衛生,環保,化工
  半導體流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業內的流量傳感器芯片,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等,超高的集成度使該產品能夠縮小一半體積,可以更好的適用于空間要求嚴格的安裝場所。

  產品應用于:半導體加工、分析和環保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比

  半導體流量控制器產品特點:溫度和壓力不敏感 / 設計勁湊,可安裝任意位置 / 零點穩定性 

  超快的響應速度
  良好的重復性和再現性
  采用液晶觸控顯示和控制
  配備比例電磁閥







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