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日立分析儀器(上海)有限公司

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>分析儀器>光譜>激光拉曼光譜(RAMAN)>SPM300 半導(dǎo)體參數(shù)測試儀

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SPM300 半導(dǎo)體參數(shù)測試儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

拉曼光譜高光譜成像

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先鋒科技是國內(nèi)的光電產(chǎn)品系統(tǒng)集成商之一,總部位于香港。目前擁有員工30余人,銷售工程師及技術(shù)服務(wù)工程師全部具有相關(guān)專業(yè)的大學(xué)本科及以上學(xué)歷。憑借在光電領(lǐng)域前沿的不斷探索,公司不僅為用戶提供國外原廠生產(chǎn)的各類標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,而且致力于根據(jù)用戶的具體要求,提供完整的系統(tǒng)解決方案,包括設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、集成和二次開發(fā)等。

公司一直持續(xù)關(guān)注光電類前沿的技術(shù)產(chǎn)品,從初期只與有限幾個(gè)品牌有業(yè)務(wù)關(guān)系,發(fā)展到現(xiàn)在與幾十家歐美公司長期密切合作。公司提供的產(chǎn)品,其涵蓋面也從初的光譜儀器單一類別,發(fā)展到現(xiàn)在的成像產(chǎn)品、各種激光器、激光測試、太赫茲、光度色度測試、光電元器件、光學(xué)元件、精密光學(xué)機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制等幾乎所有光電行業(yè)產(chǎn)品系列。公司實(shí)行不同產(chǎn)品系列團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)制,力爭將銷售和技術(shù)崗位的工程師都培養(yǎng)成為各自負(fù)責(zé)產(chǎn)品類別的人才,實(shí)實(shí)在在地讓客戶體會(huì)到專業(yè)團(tuán)隊(duì)的專業(yè)服務(wù)!

公司擁有一支具備專業(yè)知識(shí)的銷售工程師團(tuán)隊(duì),并始終要求相關(guān)團(tuán)隊(duì)成員,在銷售過程中從各個(gè)領(lǐng)域內(nèi)的用戶處時(shí)刻更新自己的知識(shí)內(nèi)容,保持對各應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)新研究內(nèi)容的了解,從而能夠結(jié)合儀器設(shè)備的技術(shù)特點(diǎn),按照廣大用戶的不同應(yīng)用要求,提供準(zhǔn)確、先進(jìn)的各種儀器解決方案。

公司的技術(shù)服務(wù)工程師積累了豐富的儀器安裝、調(diào)試及故障解決經(jīng)驗(yàn),并不斷結(jié)合科研生產(chǎn)儀器設(shè)備的新技術(shù)發(fā)展及用戶的要求,努力完善售后服務(wù)體系,力爭做到在盡可能短的時(shí)間內(nèi)為用戶提供迅速有效的技術(shù)響應(yīng),使用戶的各種技術(shù)服務(wù)要求盡量得到滿足。針對主營產(chǎn)品和業(yè)務(wù),公司每年定期安排技術(shù)服務(wù)工程師參加各類技術(shù)培訓(xùn),購買相應(yīng)的零配件,力爭做到絕大部分的主流產(chǎn)品維修本地化,免除由于路程往返造成的時(shí)間、費(fèi)用和工作效率上的損失。

公司商務(wù)部門的貿(mào)易專員,每年均要處理大量的貿(mào)易合同。公司商務(wù)團(tuán)隊(duì),以其豐富貿(mào)易經(jīng)驗(yàn),努力協(xié)調(diào)公司內(nèi)外以及公司內(nèi)部各部門的行動(dòng),力爭讓用戶在短的時(shí)間內(nèi)收到訂購的儀器,享受到相應(yīng)的服務(wù)。

全體員工努力工作的目標(biāo)是:把公司建設(shè)成為一個(gè)光電行業(yè)系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)市場中,先鋒科技衷心希望得到新老客戶一如既往的支持!

 

 

 

 

光譜相關(guān)產(chǎn)品,激光與測量系統(tǒng),影像采集,光度色度儀器,探測器產(chǎn)品,氣體傳感器,光學(xué)元件等光電產(chǎn)品

應(yīng)用領(lǐng)域 電子,綜合

基于拉曼光譜法的半導(dǎo)體參數(shù)測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異性高的優(yōu)點(diǎn)。可以對半導(dǎo)體材料進(jìn)行微區(qū)分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進(jìn)行掃描從而對整個(gè)面進(jìn)行均勻性分析。設(shè)備具有智能化的軟件,可對數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合計(jì)算,直接將載流子濃度、晶化率、應(yīng)力大小或者分布等結(jié)果直觀的展現(xiàn)給用戶。系統(tǒng)穩(wěn)定,重復(fù)性好,可用于實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)或者產(chǎn)線監(jiān)測。



① 光路接口盒:

內(nèi)置常用激光器及激光片組,拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入;

② 光路轉(zhuǎn)向控制:

光路轉(zhuǎn)向控制可向下或向左,與原子力、低溫、探針臺(tái)等設(shè)備連用,可升級振鏡選項(xiàng)

③ 明視場相機(jī):

明視場相機(jī)代替目鏡

④ 顯微鏡:

正置科研級金相顯微鏡,標(biāo)配落射式明暗場照明,其它照明方式可升級

⑤ 電動(dòng)位移臺(tái):

75mm*50mm 行程高精度電動(dòng)載物臺(tái),1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合:

光纖共聚焦耦合為可選項(xiàng),提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合:

標(biāo)配CCD- 狹縫耦合方式,可使用光譜儀成像模式,高光通量

⑧ 光譜CCD:

背照式深耗盡型光譜CCD相機(jī), 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

⑨ 320mm 光譜儀:

F/4.2高光通量影像校正光譜儀, 1*10-5 雜散光抑制比


SPM300 半導(dǎo)體參數(shù)測試儀主要應(yīng)用


選型表

型號

描述

SPM300-mini

基礎(chǔ)款半導(dǎo)體參數(shù)分析儀,只含一路532nm 激光器,常規(guī)正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺(tái)

SPM300-SMS532

多功能型半導(dǎo)體參數(shù)分析儀,含532nm 激光器,常規(guī)正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺(tái),

可升級耦合最多4 路激光器

SPM300-OM532

開放式半導(dǎo)體參數(shù)測試儀,含532nm 激光器,定制開放式顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺(tái),

可升級耦合最多4 路激光器


系統(tǒng)參數(shù)

項(xiàng)目

詳細(xì)技術(shù)規(guī)格

光源

標(biāo)配532nm,100mW 激光器,其他激光可選,最多耦合4 路激光,可電動(dòng)切換,功率可調(diào)節(jié)

光譜儀

320mm 焦距影像校正光譜儀,光譜范圍90-9000cm-1,

光譜分辨率

2cm-1

空間分辨率

<1μm

樣品掃描范圍

標(biāo)配75mm*50mm,最大300mm*300mm

顯微鏡

正置顯微鏡,明場或者暗場觀察,帶10X,50X,100X 三顆物鏡;開放式顯微鏡可選

載流子濃度分析

測試范圍測試范圍1017 ~ 1020 cm-3,重復(fù)性誤差<5%

應(yīng)力測試

可直觀給出應(yīng)力屬性(拉力/ 張力),針對特種樣品,可直接計(jì)算應(yīng)力大小,應(yīng)力均勻性分析

(需額外配置電動(dòng)位移臺(tái)), 應(yīng)力解析精度0.002cm-1

晶化率測試

可自動(dòng)分峰,自動(dòng)擬合,自動(dòng)計(jì)算出晶化率,并且自動(dòng)計(jì)算晶粒大小和應(yīng)力大小

測試案例舉例



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