產品特點：

 ◆ 5-20毫秒的響應時間

 ◆ 六個角度方向自由防震

 ◆ 緊湊、模塊化的多功能設計，模塊化可擴展

 ◆ 無低頻共振并沒有空氣要求

 ◆ 提供*的低頻段隔振能力

 ◆ 主動防震1Hz - 200Hz，被動防振頻率 >200Hz

 ◆ 無電磁干擾

 ◆ 與LFS-3低頻傳感器搭配后，AVI系列主動減振設備可以降 低到0.7Hz的隔離頻率

技術參數：

基本配置：兩個模塊和一個控制器

主動隔振范圍：1Hz-200Hz

被動隔振范圍:＞200Hz

垂直方向:約1.75 μm / N

水平方向:約 3.5μm / N

輸入電壓:90 -125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗:通常為27W

傳輸率:過10Hz＜-35dB

系統噪聲:低于50nG/√Hz

控制器尺寸:48 x 13 x 25 cm

使用環境:僅用于室內

隔振模塊尺寸(單模塊)：820x318x112.5mm3

負載范圍：0~1200KG（雙模塊）

性能監控:通過在示波器上顯示一個復用信號來表示是否帶有隔振效果的震動等級

應用領域：

•掃描電子顯微鏡（SEM）

•透射電子顯微鏡（TEM)

•掃描隧道顯微鏡（STM）

•掃描探針顯微鏡（SPM)

•核磁共振儀

•干涉儀

•輪廓儀

•光譜儀

•顯微鏡（SNOM)微納米硬度檢測儀

•光刻機

•還有更多！

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