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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>電子顯微鏡>聚焦離子束顯微鏡(FIB)> Helios 5 PFIB DualBeam

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Helios 5 PFIB DualBeam

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 賽默飛電子顯微鏡
  • 品牌 FEI/賽默飛
  • 型號
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/8/28 14:10:48
  • 訪問次數 1036

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FEI公司,2016年被賽默飛世爾科技收購,成為賽默飛材料與結構分析(MSD) 電鏡事業部,是顯微鏡和微量分析解決方案的創新者和供應商。 我們提供掃描電子顯微鏡SEM,透射電子顯微鏡TEM和雙束-掃描電子顯微鏡DualBeam FIB-SEM,結合先進的軟件套件,運用廣泛的樣本類型,通過將高分辨率成像與物理、元素、化學和電學分析相結合,使客戶的問題變成有效可用的數據。

掃描電子顯微鏡,雙束電鏡,透射電子顯微鏡,冷凍電鏡,X射線光電子能譜儀,三維可視化軟件

用于 TEM 樣品制備(包括 3D 表征、橫截面成像和微加工)的等離子體聚焦離子束掃描電子顯微鏡

Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam(聚焦離子束掃描電子顯微鏡或 FIB-SEM)是具有的功能,專用于材料科學和半導體應用的顯微鏡。材料科學研究人員可以通過 Helios 5 PFIB DualBeam 實現大體積 3D 表征、無鎵樣品制備和精確的微加工。半導體設備、先進包裝技術和顯示設備的制造商通過 Helios 5 PFIB DualBeam 可實現無損傷、大面積反處理、快速樣品制備和高保真故障分析。

材料科學的主要特點


無鎵 STEM 和 TEM 樣品制備

由于新 PFIB 色譜柱可實現 500 V Xe+ 最終拋光和所有操作條件下的優異性能,因此可以實現高質量、無鎵  TEM 和 APT 樣品制備。

新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱

使用新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱 (PFIB) 實現高通量和高質量的統計學相關 3D 表征、橫截面成像和微加工。

低能量下具有亞納米性能

憑借具有高電流 UC+ 單色器技術的 Elstar 電子色譜柱,可以在低能量下實現亞納米性能,從而顯示最細致的細節信息。

先進的功能

通過 FIB/SEM 系統采用選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統,實現的電子和離子束誘導沉積及蝕刻功能。

短時間獲得納米級信息

借助 SmartAlign 和 FLASH 技術,任何經驗水平的用戶都可以最短時間獲得納米級信息。

先進的自動化

使用選配的 AutoTEM 5 軟件最快、地實現自動化的多點原位非原位 TEM 樣品制備以及橫截面成像。

多模式亞表面和 3D 信息

使用選配的 Auto Slice & View 4 (AS&V4) 軟件,訪問高質量、多模式亞表面和 3D 信息并精確定位感興趣區。

完整的樣品信息

可通過多達六個集成在色譜柱內和透鏡下的集成檢測器獲得清晰、精確且無電荷對比度的最完整的樣品信息。

無偽影成像

無偽影成像基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式,例如 SmartScan™ 和 DCFI 模式。

精確的樣品導航

由于 150 mm 壓電載物臺和選配腔室內 Nav-Cam 導航具有高穩定性和準確性,可根據具體應用需求定制精確的樣品導航。

材料科學規格

Helios 5 PFIB CXe DualBeamHelios 5 PFIB UXe DualBeam
電子光學系統
  • Elstar 超高分辨率場發射 SEM 色譜柱,具有:

    • 浸沒式磁物鏡

    • 可提供穩定的高分辨率分析電流的高穩定性肖特基場發射槍

    • UC+ 單色器技術

電子束分辨率
  • 在優化工作距離 (WD) 處:

    • 1 kV 時 0.7 nm

    • 500 V (ICD) 時 1.0 nm

  • 在重合點:

    • 15 kV 時 0.6 nm

    • 1 kV 時 1.2 nm

電子束參數空間
  • 電子束電流范圍:0.8 pA 至 100 nA

  • 加速電壓范圍:200 V – 30 kV

  • 著陸能量范圍:20* eV – 30 keV

  • 最大水平射野寬度:4 mm WD 時 2.3 mm

離子光學系統
  • 高性能 PFIB 色譜柱,帶電感耦合 Xe+ 等離子 (ICP)

    • 離子束電流范圍:1.5 pA 至 2.5 µA

    • 加速電壓范圍: 500 V - 30 kV

    • 最大水平射野寬度:在等離子束重合點處為 0.9 mm

  • 重合點時的離子束分辨率

    • <使用統計方法在 30 kV 時為 20 nm

    • <在 30 kV 下使用選擇角方法時為 10 nm

檢測器
  • Elstar 鏡筒內 SE/BSE 檢測器(TLD-SE、TLD-BSE)

  • Elstar 色譜柱內 SE/BSE 檢測器 (ICD)*

  • Everhart-Thornley SE 檢測器 (ETD)

  • 查看樣品/色譜柱的 IR 攝像機

  • 用于二級離子 (SI) 和二級電子 (SE) 的高性能離子轉換和電子 (ICE) 檢測器

  • 腔室內 Nav-Cam 樣品導航攝像機*

  • 可伸縮、低電壓、高對比度、定向、固態反向散射電子檢測器 (DBS)*

  • 集成的等離子束電流測量

載物臺和樣品

靈活的 5 軸電動平臺:

  • XY 范圍:110 mm

  • Z 范圍:65 mm

  • 旋轉:360°(無限)

  • 傾斜范圍:-38° 至 +90°

  • XY 重復性:3 μm

  • 最大樣品高度:與共心點間距 85 mm

  • 0° 傾斜時的最大樣品重量:5 kg (包括樣品架)

  • 最大樣品尺寸:旋轉時 110 mm(也可以是更大的樣品,但旋轉有限)

  • 計算中心旋轉和傾斜

高精度,5 軸電動樣品臺(帶 XYR 軸),壓電驅動

  • XY 范圍:150 mm

  • Z 范圍:10 mm

  • 旋轉:360°(無限)

  • 傾斜范圍:-38° 至 +60°

  • XY 重復性:1 μm

  • 最大樣品高度:與共心點間距 55 mm

  • 0° 傾斜時的最大樣品重量:500 g(包括樣品架)

  • 最大樣品尺寸:旋轉時 150 mm(也可以是更大的樣品,但旋轉有限)

  • 計算中心旋轉和傾斜

















規格





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