化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>少子壽命測(cè)試儀>MDPmap-1 MDPmap單晶和多晶硅片壽命測(cè)量?jī)x

舉報(bào) 評(píng)價(jià)

MDPmap-1 MDPmap單晶和多晶硅片壽命測(cè)量?jī)x

參考價(jià)	￥ 1000000
訂貨量	≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 束蘊(yùn)儀器（上海）有限公司
品牌 Freiberg Instruments
型號(hào) MDPmap-1
產(chǎn)地 德國(guó)
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2024/9/12 9:17:38
訪問(wèn)次數(shù) 1695

產(chǎn)品標(biāo)簽

少子壽命少子壽命測(cè)試儀單晶少子壽命測(cè)試儀單晶多晶硅片測(cè)試儀硅片少子壽命測(cè)量?jī)x

在線交流發(fā)送詢價(jià) 進(jìn)入商鋪同類產(chǎn)品

聯(lián)系方式：朱17621138977 查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!

索取相關(guān)資料

公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

束蘊(yùn)儀器（上海）有限公司自成立以來(lái)，憑借與德國(guó)布魯克（BRUKER）、衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)、德國(guó)Freiberg等實(shí)驗(yàn)室分析儀器品牌的戰(zhàn)略合作，迅速成為業(yè)界儀器供應(yīng)商。

我們擁有一支積極樂(lè)觀，正直誠(chéng)信的年輕團(tuán)隊(duì)，我們熱忱的信仰科學(xué)，相信科學(xué)技術(shù)能為我們的客戶帶來(lái)高品質(zhì)的生活，為社會(huì)的進(jìn)步起到積極的促進(jìn)作用。

束蘊(yùn)儀器為各類客戶提供優(yōu)質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)檢測(cè)儀器及過(guò)程控制設(shè)備，專業(yè)的應(yīng)用支持及完善的售后服務(wù)，在中國(guó)大陸的諸多領(lǐng)域擁有大量用戶，如高校、科研院所、航空航天，政府組織、檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)、及工業(yè)企業(yè)。產(chǎn)品覆蓋了醫(yī)藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個(gè)行業(yè)。

公司的宗旨：為客戶量身打造合適的綜合解決方案、技術(shù)支持和現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，優(yōu)質(zhì)的客戶培訓(xùn)，快速及時(shí)的售后服務(wù)。

束蘊(yùn)儀器，讓世界更清晰！

主營(yíng)儀器設(shè)備：

--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀（ESR/EPR）、臺(tái)式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學(xué)輪廓儀等 -- 德國(guó)布魯克Bruker 授權(quán)代理商

--PDF衍射數(shù)據(jù)庫(kù)、JADE軟件--衍射數(shù)據(jù)中心（ICDD)授權(quán)代理商

--晶圓片壽命檢測(cè)儀、在線晶圓片/晶錠點(diǎn)掃或面掃檢測(cè)、晶圓片在線面掃檢測(cè)儀、臺(tái)式PID潛在誘導(dǎo)退化測(cè)試儀、釋光測(cè)定儀等--德國(guó)Freiberg Instruments授權(quán)代理商

--BPCL化學(xué)發(fā)光儀--微光科技華東區(qū)總代理

單位名稱：束蘊(yùn)儀器（上海）有限公司

詳細(xì)地址：上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號(hào)樓602室

展開(kāi)

MicroCT，顯微CT，微焦點(diǎn)CT，骨骼成像，顯微CT材料學(xué)檢測(cè)，微納顯微CT,X射線斷層掃描，TOC,元素檢測(cè)

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

MDPmap：

單晶和多晶硅片壽命測(cè)量設(shè)備用于復(fù)雜的材料研究和開(kāi)發(fā)。

特點(diǎn)：

◇ 靈敏度：高的靈敏度，用于可視化迄今為止不可見(jiàn)的缺陷和調(diào)查外延層的情況

◇ 測(cè)量速度：6英寸硅片<5min，分辨率為1mm

◇ 壽命范圍：20ns到幾十ms

◇ 污染測(cè)定：源于坩堝和設(shè)備的金屬（鐵）污染

◇ 測(cè)量能力：從切割好的硅片到加工的樣品

◇ 靈活性：固定的測(cè)量頭可以與外部激光器連接并觸發(fā)

◇ 可靠性：模塊化和緊湊型臺(tái)式儀器，可靠性更高，正常運(yùn)行時(shí)間>99%

◇ 重復(fù)性：> 99%

◇ 電阻率：電阻率測(cè)繪，無(wú)需頻繁校準(zhǔn)

技術(shù)規(guī)格:

樣品尺寸	直徑達(dá)300mm（標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)），直徑達(dá)450mm（定制），*小為5 x 5mm
壽命測(cè)量范圍	20ns至幾十ms以上
電阻率	0.2 - >103Ω·cm，p-型/n-型
樣品材料	硅片、外延層、部分或加工的硅片、化合物半導(dǎo)體及更多材料
可測(cè)量的特性	壽命 - μ-PCD/MDP (QSS), 光導(dǎo)率
激發(fā)波長(zhǎng)	選擇從355nm到1480nm的*多四個(gè)不同波長(zhǎng)。980nm(默認(rèn))
尺寸規(guī)格	體積：680 x 380 x 450毫米；重量：約65公斤
電源	100 - 250V, 50/60 Hz, 5 A

MDPmap單晶和多晶硅片壽命測(cè)量?jī)x - 細(xì)節(jié)：

◇ 用于研發(fā)或生產(chǎn)監(jiān)控的靈活測(cè)繪工具

◇ MDPmap被設(shè)計(jì)成一個(gè)緊湊的臺(tái)式非接觸電學(xué)表征工具，用于離線生產(chǎn)控制或研發(fā)，在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵(lì)（μ-PCD）下，在一個(gè)寬的注入范圍內(nèi)測(cè)量參數(shù)，如載流子壽命、光導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息。自動(dòng)化的樣品識(shí)別和參數(shù)設(shè)置允許輕松適應(yīng)各種不同的樣品，包括外延層和經(jīng)過(guò)不同制備階段的晶圓，從原生晶圓到高達(dá)95%的金屬化晶圓。

◇ MDPmap的主要優(yōu)點(diǎn)是它的高度靈活性，例如，它允許集成多達(dá)四個(gè)激光器，用于測(cè)量從較低到高的注入水平的壽命，或通過(guò)使用不同的激光波長(zhǎng)提取深度信息。包括偏置光設(shè)施，以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件的選項(xiàng)。可以用不同的地圖進(jìn)行客戶定義的計(jì)算，也可以輸出主要數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步評(píng)估。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)量任務(wù)，預(yù)定義的標(biāo)準(zhǔn)只需按下一個(gè)按鈕就能進(jìn)行常規(guī)測(cè)量。

附加選項(xiàng)：

◇ 光斑大小的變化

◇ 電阻率測(cè)量（晶圓）

◇ 方塊電阻

◇ 背景/偏光

◇ 反射測(cè)量（MDP）

◇ 太陽(yáng)能電池的LBIC（擴(kuò)散長(zhǎng)度測(cè)量）

◇ 偏壓MDP

◇ 參考晶圓

◇ 硅的內(nèi)部/外部鐵制圖

◇ 集成加熱臺(tái)

◇ 靈活的激光器配置

MDPmap單晶和多晶硅片壽命測(cè)量?jī)x - 測(cè)量案例：


鈍化多晶硅的壽命圖	多晶硅的鐵污染圖

單晶硅的硼氧圖	單晶硅的缺陷密度圖

碳化硅外延片（＞10μm）-少數(shù)載流子壽命mapping圖（平均壽命τ=0.36μs）

高阻硅片（＞10000Ω·cm）-少數(shù)載流子壽命mapping圖

非鈍化硅外延片（20μm）-少數(shù)載流子壽命mapping圖