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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>表面測量儀器>臺階儀>NS200 中圖臺階儀

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NS200 中圖臺階儀

參考價 600000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品牌 CHOTEST/中圖儀器
  • 型號 NS200
  • 產地 學苑大道1001號南山智園B1棟2樓、5樓
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/7/18 11:15:17
  • 訪問次數 1027

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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。


中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎,擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊,歷經20年的技術積累和發展實踐,研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。





三坐標測量機,影像儀,閃測儀,一鍵式測量儀,激光干涉儀,白光干涉儀,光學輪廓儀,激光跟蹤儀

產地類別 國產 價格區間 面議
應用領域 能源,電子,綜合

中圖臺階儀NS200主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

中圖臺階儀

中圖臺階儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業領域內的工業企業與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。


技術參數

技術測量:探針式表面輪廓測量技術

樣品觀測:光學導航攝像頭:500萬像素高分辨率 彩色攝像機,FoV,1700*1400μm

平臺移動范圍X/Y:電動X/Y(100mm*100mm)(可手動校平)


最大樣品厚度:50mm

載物臺最大晶圓尺寸:150mm(6吋),200mm(8吋)


臺階高度重復性:<1nm(測量1μm臺階高度,1δ)

垂直分辨力:分辨力<0.25 ?(量程為13um時)


儀器尺寸: 640*626*534(mm)

儀器總重量:<50kg


參數測量功能

1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;

2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數;

3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導體晶圓制造過程中,因多層沉積層結構中層間不匹配所產生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

性能特點

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率,結合單拱龍門式設計降低環境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復性;

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調,以適應硬質或軟質樣品表面,采用超低慣量設計和微小電磁力控制,實現無接觸損傷的接觸式測量;

3.超平掃描平臺

系統配有超高直線度導軌,杜絕運動中的細微抖動,真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。


典型應用

1、半導體應用

(1)沉積薄膜的臺階高度

(2)抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度

(3)蝕刻速率測定

(4)化學機械拋光(腐蝕、凹陷、彎曲)

2、大型基板應用

(1)印刷電路板(突起、臺階高度)

(2)窗口涂層

(3)晶片掩模

(4)晶片卡盤涂料

(5)拋光板

3、玻璃基板及顯示器應用

(1)AMOLED

(2)液晶屏研發的臺階步級高度測量

(3)觸控面板薄膜厚度測量

(4)太陽能涂層薄膜測量

4、柔性電子器件薄膜應用

(1)有機光電探測器

(2)印于薄膜和玻璃上的有機薄膜

(3)觸摸屏銅跡線





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