半導體冷熱測試一體機Chiller循環制冷機

本設備是一款水冷型冷水機，具有定時運轉、液面下降、停電復歸、水泵防凍結、可實現遠程控制、可進行觸摸屏操控等功能。

半導體冷熱測試一體機Chiller循環制冷機

本設備性能優異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達±0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環境，具有定時運轉、溫度補償、實現自我診斷等功能，且可實現過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護裝置

快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產

運行穩定、準確控溫

半導體冷熱測試一體機Chiller循環制冷機

應用領域

應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP （工藝機械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。