DY-2000A 納米通用圖形發(fā)生器
- 公司名稱 北京中科復(fù)華科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) DY-2000A
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/4/3 9:03:43
- 訪問次數(shù) 137
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
納米圖形發(fā)生器,離子束刻蝕/反應(yīng)離子刻蝕/感應(yīng)耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發(fā)鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機(jī)、去膠設(shè)備等
一種圖形發(fā)生器,用于電子束、離子
束等帶電粒子的曝光機(jī),屬于曝光機(jī)的圖形
發(fā)生器硬件。本實(shí)用新型提供一種運(yùn)算速度
快、接口簡單、功耗低、功能多樣的曝光機(jī)
用的圖形發(fā)生器,它以高速數(shù)字信號(hào)處理器
為核心,通過通用串行總線接口 和上位機(jī)實(shí)現(xiàn)通訊,該圖形發(fā)生器不僅可以滿足以三角形,矩形和梯形為基本曝光單元圖形的曝光格式,而且 增加了圓及圓環(huán)為具本曝光單元圖形,解決了集成光柵器件加工在速度度和精度上存在的缺陷。本實(shí)用新型由接口電路、雙端口存儲(chǔ)器電路、數(shù)學(xué)信號(hào)處理器電路、數(shù)模轉(zhuǎn)換電路、曝光標(biāo)記檢測(cè)控制電路、標(biāo)記檢測(cè)電路、最終曝光數(shù)據(jù)寄存器單元和束閘控制電路相互連接構(gòu)。
曝光精度:100納米