工藝與材料表征系統(tǒng) TriboLab CMP
- 公司名稱 上海富瞻環(huán)保科技有限公司
- 品牌 Bruker/布魯克
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/5/22 18:54:09
- 訪問次數(shù) 261
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非甲烷總烴在線監(jiān)測儀,有機(jī)揮發(fā)物氣體監(jiān)測儀,沼氣檢測儀,大氣環(huán)境在線檢測儀,空氣質(zhì)量指數(shù)檢測儀器,大氣氣象綜合分析系統(tǒng),林業(yè)大氣環(huán)境檢測儀,交通環(huán)境大氣污染檢測,惡臭工作站
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 儀器種類 | 多功能摩擦磨損試驗機(jī) |
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工藝與材料表征系統(tǒng) TriboLab CMP
產(chǎn)地類別:進(jìn)口
儀器種類:多功能摩擦磨損試驗機(jī)
儀器尺寸:394mm(寬)x 610mm(深)x 775mm(高)
最大摩擦力:200N
摩擦力分辨率:10mN
最高溫度:1000℃
TriboLab CMP 利用其前身產(chǎn)品 (Bruker CP-4) 超過 20 年的 CMP 領(lǐng)域?qū)I(yè)知識,為業(yè)界的 TriboLab 平臺帶來了一套完整的功能。基于本套設(shè)備產(chǎn)生的高精度和高可重復(fù)性使得在整個 CMP 流程中能夠進(jìn)行高效的鑒別、檢查和連續(xù)功能測試。TriboLab CMP 是市場上能夠提供廣泛的拋光壓力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、聲發(fā)射和表面溫度測量的工藝開發(fā)工具,可準(zhǔn)確、完整地描述 CMP 工藝和耗材。
用于 CMP 的小型研發(fā)規(guī)模專業(yè)系統(tǒng)
布魯克的TriboLab CMP工藝和材料表征系統(tǒng)是專為晶圓拋光工藝而設(shè)計,是具有可靠、靈活和高效的臺式設(shè)備。
重現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件,無需在生產(chǎn)設(shè)備上停機(jī)
提供的測量可重復(fù)性和細(xì)節(jié)檢測
允許在小樣品上進(jìn)行測試,比全晶圓測試節(jié)省大量成本
板載診斷系統(tǒng)可以更好地了解拋光過程
比市場上任何其他系統(tǒng)提供更多的瞬態(tài)拋光過程的參數(shù)
從接觸拋光盤開始直至整個測試過程都能收集數(shù)據(jù)
通過更完整、更詳細(xì)的數(shù)據(jù)實現(xiàn)早期流程開發(fā)決策
具有靈活的樣品類型、尺寸和安裝配置
拋光任何平面材料,幾乎能使用任何修正盤,任何拋光液,和任何拋光墊
輕松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圓
可同時安裝多個樣品,測試更靈活
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