晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組
- 公司名稱 北京卓立漢光儀器有限公司
- 品牌 ZOLIX/卓立漢光
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/7/10 15:23:09
- 訪問次數(shù) 525
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晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組
Wide-field Fluorescence Microscope Module
晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組以自動化顯微鏡模組為基礎(chǔ),針對 SiC 等化合物半導(dǎo)體晶圓位錯(cuò)、層錯(cuò)等缺陷檢測需求。
無須化學(xué)腐蝕、解理等樣品前處理工藝,非接觸、無損、整晶圓檢測。
產(chǎn)品特性和核心技術(shù):
激光自動聚焦。
自主研制的激光輔助離焦量傳感器。
可在紫外激發(fā)光照射樣品并采集熒光信號的同時(shí)工作,實(shí)現(xiàn)自動聚焦和表面跟蹤。
紫外暗場照明。
標(biāo)配波長 275 nm 紫外激發(fā)光,可按用戶要求定制其它波長激發(fā)光。
可同位采集明場顯微像、可見光波段暗場熒光像、紅外波段暗場熒光像,分析樣品中位錯(cuò)、層錯(cuò)等。
晶格缺陷的分布。
全自動操作。
自動化的控制軟件和數(shù)據(jù)處理軟件,全軟件操作。
相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn):
《中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn) GB_T 43493.3-2023 半導(dǎo)體器件 功率器件用碳化硅同質(zhì)外延片缺陷的無損檢測識別判據(jù) 第 3 部分:缺陷的光致發(fā)光檢測方法》(2023 年 12 月 28 日發(fā)布,2024 年7月1日實(shí)施)
性能參數(shù):
應(yīng)用案例:
6 英寸 SiC 外延片缺陷檢測
堆疊層錯(cuò)(SF)
基面位錯(cuò)(BPD)