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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>其它實驗室常用設備>其它實驗室設備> MSK-PSS-MC1010磁控濺射儀

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MSK-PSS-MC1010磁控濺射儀

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    深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業研發部門的國家技術企業,長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發一站式服務平臺,為科學研究與產業孵化賦能。
    深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯盟,目前已經搭建輻射的服務網絡,精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。


    深圳科晶創立初期主要為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉移所使用的包裝制品,產品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。


    公司2008年開始進行材料相關研發設備和鋰電池實驗設備的開發,經過十多年的積累深圳科晶現已成為新能源和新材料基礎研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規劃者和提供者,產品應用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。
    主要產品系列:按應用與工藝更新產品系列
    •  材料基礎研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等);
    •  電池研發實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案);
    •  電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內標準等);
    •  鋰離子電池中、小試生產制備全流程系統裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案);
    •  燃料電池研發實驗制備裝備(包括固體氧化物、質子交換膜燃料電池等制備方案);
    •  鈣鈦礦太陽能電池研發實驗制備;
    •  功能薄膜研發實驗設備(包括混料、涂布、輥壓/復合、分切、復卷等);
    •  高通量材料基因組實驗設備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結、測試表征等);
   

公司設立了開放的研發實驗室和設備體驗中心。對于鋰電池行業,可實現公斤級別材料制備及電池研發,能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發工作。


    深圳科晶強大的研發團隊支撐了豐富的產品鏈,針對現有產品具有*知識產權的發明和實用新型共40多項(包含PCT和國內發明),并參與行業多項標準制定且獲得多個行業協會認可。


    本著“精誠合作、創新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學、南開大學、上海交通大學、深圳大學、中航發航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構和企業簽署產學研合作。與此同時,深圳科晶設立了對外服務的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現場測試體驗,配備行業資深的售前技術人員協助研究者充分了解相關工藝和設備,縮短調研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關工藝試驗服務和培訓咨詢服務,協助細分領域的科研工作者快速掌握產業工藝,從而專注前沿研發。

材料科學是基礎科學。縱觀人類科技的發展歷史,新型材料的發現和應用將帶來巨大的產業機遇,而*實驗裝備和儀器是為科研和應用保駕護航的重要保障。科晶團隊將一如既往秉承“客戶為本,技術為導,誠信為基,積極創新”的運營理念 ,竭力為科學研究和科技發展做出貢獻。


電池研發實驗設備(扣式電池,軟包電池,圓柱電池)

產地類別 國產 應用領域 化工,石油,能源,交通,汽車

MSK-PSS-MC1010磁控濺射儀

MSK-PSS-MC1010磁控濺射儀可在襯底基片上濺射一層薄膜,原理是由惰性工藝氣體產生輝光放電現象生成帶電離子,帶電離子經過電場加速后轟擊固體靶材表面,使靶材表面原子和分子被轟擊飛濺出來,同時產生二次電子,再次撞擊氣體原子而形成更多的帶電離子,從靶材濺射出來的粒子在低壓氣氛中向硅片作渡越運動,碰撞到襯底基片上并被基片吸附,最終凝聚在襯底形成需要的薄膜。

  功能特點
  • 設備設計緊湊,可與手套箱對接;

  • 極限真空度優于5E-5Pa(干燥環境),濺射尺寸兼容多種規格,最大為100*100mm,并支持基片旋轉速度0~30rpm連續可調;

  • 采用不銹鋼真空室,內部電拋光處理,配備觀察窗、靶槍及擋板轉軸等;

  • 真空系統采用“分子泵+機械泵”組合,具有高效的抽速和完善的真空測量系統;

  • 氣體控制方面,具備3路進氣并可通過流量計精確控制;

  • 配有3個共焦向上濺射的圓形靶槍, 可以支持低氣壓濺射以減小二次電子損傷;

  • 設備提供旋轉加熱工件臺,可調節轉速、加熱溫度以及與靶之間的距離

  技術參數
電源三相五線制AC380V±10%,頻率:50Hz,總功率約6KW
氣源壓縮空氣:干燥、干凈、無水、無油的壓縮空氣,8mm塑料氣管,壓力5.5~6公斤(0.55-0.6Mpa)
普通氮氣:干燥氮氣,用于設備腔室破真空,8mm塑料氣管,壓力1-2公斤(0.1-0.2Mpa)
工藝氣體:高純,99.999%,共兩路工藝氣體,6mm不銹鋼管,其中一路為高純氬氣,壓力1~2公斤(0.1-0.2Mpa),另外兩路工藝氣體按工藝需求準備
水源流量15-20升/分鐘水溫15~25℃,
進水和出水壓差1~2公斤,進水壓力2~3公斤,
設備的進水和出水口外徑12mm
(建議在設備的進水口前安裝一個球閥,方便調節水壓和水流量)
真空室304不銹鋼真空室,內部電拋光
前后開門,門上有1個80mm觀察窗,帶擋板,防輻射
底部安裝3個靶槍及擋板轉軸
側壁及底部有備用法蘭接口以備將來使用
可拆卸不銹鋼內襯,手擰拆卸方便清理
真空系統組成分子泵+機械泵組合式真空系統,氣動閥門
分子泵:中科科儀分子泵FF200/1300,抽速:1300L/s
機械泵:鮑斯BSV-30機械泵,抽速:9L/s
真空閥門:型號:DN40mm 擋板閥2套;主閥DN200 1套,可調限流閥1套,進口薄膜真空計1套,量程0.0001torr-0.1torr,自動調壓
真空密封:可拆靜密封采用氟橡膠圈密封,不常拆靜密封采用無氧銅密封
真空極限真空極限優于5×10-5Pa(干燥環境)
抽速抽氣時間:大氣壓~工作真空(5*10-4Pa),約20min(對接手套箱氮氣環境)
真空計1個兩低一高2個真空計,測量范圍:大氣到1E-5Pa
氣體控制3路進氣,采用Horiba Metron(中日合資)流量計控制進氣,流量計最大流量分別為200/100/50sccm,兩路氣體經過流量計后混合,混合后導入真空室靶面
濺射靶槍3個2英寸圓形靶槍,共焦向上濺射
靶槍和工件距離80-120mm,可調節
每個靶槍帶一個獨立的電控氣動擋板
可實現低氣壓濺射,減小二次電子損傷樣品基底
濺射電源1臺G-POWER功率500W自動匹配射頻電源:
最大輸出功率500W,頻率13.56MHz,輸出采用功率控制模式,自動匹配,匹配時間短,反射功率小于3W;
1臺北京持動力直流濺射電源:
最大輸出功率500W,輸出可切換采用功率控制模式,恒流模式,恒壓模式,電源帶完善的異常打火,短路等保護功能耐用易用
旋轉加熱工件臺最大可放置襯底基片樣品尺寸:100mm*100mm,兼容3英寸、2英寸、φ45mm、φ30mm,以及小尺寸方形片(對角線長度小于45mm)
基片轉速0-30rpm連續可調,旋轉軸水冷保護
轉軸磁流體密封
樣品臺加熱溫度:最高溫度500℃,控溫誤差±1℃
樣品臺和靶之間距離采用焊接波紋管密封電動可調,帶刻度顯示
成膜質量:樣品范圍內均勻性優于±5%
控制系統西門子PLC+西門子觸摸屏手自動控制系統
控制內容:機械泵,分子泵,氣動、電磁閥門、流量計等等;自動抽真空,自動排氣等
完整的互鎖保護(硬件、軟件互鎖)
真空室尺寸約W400*D400*H450mm
外形尺寸約W780*D930*H1820mm




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