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EDC-650-8B 勻膠機

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半導(dǎo)體前道勻膠機

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

Laurell的EDC-650-8B勻膠機結(jié)構(gòu)緊湊,具有優(yōu)良的功能。這款650系列EDC系統(tǒng)將可容納大200mm晶圓和7英寸×7英寸(178mm×178mm)基板。雖然這個系統(tǒng)有12,000RPM的能力帶真空壓緊裝置,建議僅用于3,000RPM和非真空吸盤。

2.設(shè)備原理:

利用電機高速旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面,形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。

3.產(chǎn)品特色:

650系列過程控制器采用堅固的微處理器,并使用其隨附的PC軟件(編寫在面向?qū)ο蟮木幊陶Z言中),它在過程中都實現(xiàn)了高的靈活性定義和使用。該控制器允許操作員在流程執(zhí)行過程中進行實時交互,包括暫停時間、停止和從該點繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將通過可下載的固件修訂版在現(xiàn)場輕松快速地持續(xù)更新。

650系列控制器也可以與帶有Spin3000(Laurell的過程管理軟件)的PC結(jié)合使用。使用PC增加了在運行過程、遠程操作、編程或通過LAN或Internet進行通信時記錄過程的能力。該軟件免費提供,使操作員能夠創(chuàng)建虛擬過程模擬,甚至超出硬件安裝的旋轉(zhuǎn)處理器的能力,實際上讓他們在進入過程之可以嘗試一下。所有650個系統(tǒng)都可以通過簡單的插件模塊進行升或重新使用,而無需返回工廠,無論是實際還是虛擬,并且可以包含幾乎無限數(shù)量的流程和步驟。





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