1. 尺寸

48英寸（寬）x433/8英寸（深）x741/4英寸（高）（121.9厘米（寬）x110.04厘米（深）x188.60厘米（高）

2. 典型工藝

蝕刻

顯影—水性/溶劑

清潔—水性/溶劑

硫酸/過氧化物（原位混合）

HBr

溫控顯影

漂洗/烘干

3. 特征

全聚丙烯結(jié)構(gòu)（可提供自熄功能）                          

適合安裝任何Laurell旋轉(zhuǎn)處理器

穿孔濕甲板（易于拆卸）

濕式增壓室

帶儀表的排氣增壓室

下方為加熱器、泵、容器的隔離組件/抽屜......

4. 選項(xiàng)

觸摸屏控制界面

觀看LaurellTouch演示視頻

處理器排氣聯(lián)鎖（EDC™型號標(biāo)配）         

化學(xué)加熱

通過壓力容器物料攪拌（磁性）

沖洗至電阻率

排水分流器

真空裝載棒

晶圓盒支架

泄漏檢測

燈塔

如有需要，可提供高材料                        

5. 阻燃選項(xiàng)

WS-1000-CP7-D—聚丙烯配方其阻燃特性符合嚴(yán)格的FMRC4910測試標(biāo)準(zhǔn)對于大多數(shù)方面的阻燃性、自熄性和燒穿特性。這種先進(jìn)的材料還達(dá)到或超過了低煙霧產(chǎn)生和小有毒副產(chǎn)物的測試標(biāo)準(zhǔn)。