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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>其它半導體行業儀器設備>其它半導體設備> Chiller

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Chiller

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普泰克proteco)制冷設備技術集合了多位生物制藥領域、機械設計、軟件自控的專業人才,依托于浙江大學制冷研究院的技術團隊支持,致力于高低溫設備的研究、開發、制造、銷售。

我司借鑒歐美技術,以模塊化部件為平臺,衍生出多款高低溫設備產品,提出:“個性化溫度控制解決方案”的理念!嚴格按照客戶要求進行規劃和制造,產品廣泛應用于國內外科學研究和工藝開發、新能源汽車、生物技術、醫藥行業、航空航天、半導體、醫療技術等行業。

高低溫一體機,冷熱一體機,溫度控制系統,反應釜溫控系統

價格區間 10萬-30萬 應用領域 環保,能源,電子,電氣
  一、產品概述:
  半導體Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫,裝置由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成,采用先進的控制算法,提高了chiller的穩定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃,可在-20℃~85℃之間任意控溫,有良好的溫度穩定性。
  半導體chiller由制冷,加熱單元,循環,控制系統組成,全密封結構對環境友好,產品系統多,控溫范圍廣,智能化控制軟件,加熱制冷速度快。
 
  二、產品分為: 
  1.單通道系列
  2.雙通道系列
  3.三通道系統

 

  三、半導體Chiller細節展示:

  

  

  四、半導體chiller參數說明:
  名稱 參數 名稱 參數 名稱 參數
1 單通道系列 -20℃~+80℃ 雙通道系列 -45℃~+40℃ 三通道系列 -20℃~+50℃
2 溫度范圍 ±0.1℃ 溫度范圍 ±0.2℃ 溫度范圍 ±0.1℃
3 精度 2kw@-10℃ 精度 11kw@-20℃/5kw@-40℃ 精度 15kw@-10℃
4 冷卻能力 3kw 冷卻能力 2kw 冷卻能力 2kw
5 加熱能力 20LPM@0.6MPa 加熱能力 17LPM@0.6MPa 加熱能力 30LPM@0.85MPa
6 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4"
7 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C
8 溫度范圍 15LPM 溫度范圍 30LPM 溫度范圍 30LPM
9 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc3/4"*2
10 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa
11 進口壓力  / 進口壓力  / 進口壓力  /

五、產品圖片展示:

   六、我們的優勢:

   

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