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IS系列 磁控濺射鍍膜設備

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安徽純源鍍膜科技有限公司是由新加坡歸國創業團隊于2014年創立的高科技公司,坐落于合肥市蜀山區大別山路1599號。主要從事真空納米、微米級鍍膜裝備的設計、研發和制造;并提供多種功能膜層的工藝開發和鍍膜加工服務。

公司目前擁有設計、研發、工藝、市場和生產等各方面的專業型人才。在陰極?。–athode Arc)、磁控濺射(Sputter)、電子束蒸發(E-beam Evaporation)、離子束刻蝕清洗(IBE)、化學氣相沉積(CVD)等領域都掌握了核心技術;特別是公司自主設計、研發、制造的純離子鍍膜設備(Pure Ion Coating Equipment)能夠制備出性能*的類金剛石膜、金屬膜、金屬化合物膜等。

鍍膜設備有:純離子鍍膜設備系列、多元化高致密金屬鍍膜設備系列、高精模具鍍膜設備系列、磁控濺射設備系列、高真空精密光學薄膜鍍膜設備系列、反應離子刻蝕系列等。

膜層系列有: Ta-C、DLC、氮化物膜(TiN、CrN、AlCrN等)、碳化物膜(CrC、WC等)、高致密金屬/合金膜和光學膜層(減反膜、濾光膜、高反膜、紅外膜等)等。

公司裝備及膜層廣泛應用于交通工具、切削工具、消費電子、紡織機械、醫療、新能源和科研等行業。




PVD真空鍍膜設備、高致密金屬鍍膜設備、磁控濺射設備、多弧磁過濾鍍膜、類金剛石涂層、碳氮氧化物加工服務

應用領域 化工,能源,建材,電子,交通

IS系列磁控濺射鍍膜設備



  IS系列磁控濺射鍍膜設備由離子束清洗(IONBEAM CLEANING)+磁控濺射(SPUTTER)組成工藝系統。

  系列設備主要是(集)高能粒子束清洗技術(IONBEAM)和磁控濺射(SPUTTER)兩種技術融合一體,可以適應廣泛鍍膜靶材,無論是金屬還是介質、化合材料都可以利用濺射工藝進行鍍膜及成膜,使膜層附著力、致密度、重復度及顏色一致性好等特點。可鍍制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、Cu、Au、金剛石膜(DLC)、裝飾膜等非金屬及其化合物的膜層和復合膜層。采用可編控制器PLC+觸摸屏HMI組合電氣控制系統,實現全自動控制。


一、主要特點

1、具備加熱、離子束濺射清洗和磁控濺射沉積金屬層的能力;

2、腔室圓周壁安裝磁控濺射源、離子束清洗源和加熱器,底部布置高真空抽氣系統。頂部有旋轉基片架驅動系統和真空度測量系統 ;

3、設備采用全自動控制系統,能控制工藝溫度、膜層厚度,能對微孔內壁鍍膜;

4、腔室內設置多路偏壓板,每路偏壓能夠獨立調節,自由控制通斷以及接地設計。偏壓由基片架轉軸引入腔室;

5、行星轉架底座為公轉+自轉結構,而偏壓板底座和基片(電路板)底座為公轉結構;

6、突出安全性設計:設備中外露部分,包括真空腔室、抽氣系統、離子源背部等能觸摸到的表面,全部接地保護;內部帶電部分也有明顯警示標志。設備控制軟件設有自動保護功能。


二、技術優勢

1、 離子束清洗源產生的高能Ar離子,清洗轟擊基底表面,可以提高膜層的粘附性;

2、 布氣系統,氣體流量均利用質量流量計分別進行定量控制;

3、 溫度監控采用熱偶絲方式,腔室壁設置加熱器,通過溫度傳感器進行加熱控制。真空室外壁設置水冷,能確保加熱溫度條件下控制外壁溫度不高于40攝氏度;

4、 設備鍍膜源的安裝法蘭采用合頁鉸鏈設計,換靶方便,離子源和加熱器維護操作簡單。所有的磁控濺射離子源、離子束清洗源的安裝法蘭采用相同尺寸,互換性強,工藝靈活性高;

5、 設備采用工控機+PLC控制方式,全自動化界面控制,具備工藝配方自動運行能力。


涂層類型膜厚(um)可達性能
主要應用
Ti/Ni/Cr/Cu/Ag等
0.5—10
改善可焊性、提升電磁屏蔽能力、外觀改色
5G通訊\高校科研





三、詳細參數

磁控濺射鍍膜設備


四、應用領域和范圍

1、可鍍Cu、Au、Cr、Ni、Ta、TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN、 DLC等金屬、非金屬及陶瓷氧化物的各類膜層和復合膜層;

2、可用于液晶顯示、硬質耐磨、太陽能電池、材料保護和防腐、建筑物玻璃、光學和裝飾膜層、鐵磁材料等各個領域。



注明:以上數據來源于安徽純源鍍膜科技有限公司-材料實驗室-檢測結果






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