AT 200M 迷你原子層沉積系統(tǒng)-可放入手套箱
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京盈思拓科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 AT 200M
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/11/18 15:45:23
- 訪問次數(shù) 265
產(chǎn)品標(biāo)簽
聯(lián)系方式：ACindy17710506869 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,綜合 |
|---|
-
原子層沉積系統(tǒng)ALD
-
市場上占地面積最小的 ALD（原子層沉積）工具。AT200M 體積小巧，可以放入手套箱中，因此是濕氣或空氣敏感沉積的解決方案。
-
占地面積小（~ 15 in3 或 38.1 cm3）
-
半導(dǎo)體級元件
-
金屬密封管路
-
通風(fēng)前驅(qū)體外殼
-
兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥，帶有超快速 MFC，用于集成惰性氣體吹掃
-
前驅(qū)體（最高 150°C），歧管，腔室加熱以確保無冷凝。
-
強(qiáng)大的 PLC 驅(qū)動(dòng)用戶界面
-
不銹鋼腔室可加熱至 300°C。
規(guī)格：
-
腔室溫度從 RT 到 300°C ± 1 °C
-
前驅(qū)體溫度從 RT 到 150°C ± 2°C（帶加熱夾套）
-
市場上占地面積最小（1.6 平方英尺），臺式安裝，兼容潔凈室，也適合手套箱。
-
系統(tǒng)維護(hù)簡單，公用設(shè)施和前驅(qū)體使用量低。
-
腔室容積小
-
非常快速的循環(huán)能力。
-
完整的硬件和軟件互鎖，即使在多用戶環(huán)境中也能安全操作
采購中心
化工儀器網(wǎng)