| 應用領域 | 醫療衛生,化工,制藥,綜合 |
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半導體設備日本理學Rigaku熒光射線分析儀
半導體設備日本理學Rigaku熒光射線分析儀
一種熒光射線分析儀，可以使用各種適配器測量各種形狀的樣品和多個樣品。
除了能夠測量大直徑樣品（φ400 mm x 50 mm）外，還可以測量質量達30 kg的樣品，非常適合濺射靶材、磁盤分析、多層膜測量或元素分析大樣本。這是一種熒光X射線分析儀，可以使用各種適配器測量各種形狀的樣品和多個樣品。配備了ZSX Primus系列成熟的軟件“ZSX Guidance”，實現了出色的可操作性和可維護性。配備了人為錯誤預防功能，即使是初學者也能獲得準確的分析結果。
還可以在用內置高分辨率相機觀察樣品圖像的同時測量位置并進行點映射測量。我們滿足包括輕和超輕元素在內的高精度測繪測量的需求。
ZSX Primus400 特點
多種樣品適配器，適用于大直徑樣品、不規則形狀樣品和多個樣品
可直接測量直徑為 400mm x 50mm 的樣品。無需將珍貴的樣品加工成更小的尺寸。我們還提供可同時設置多個樣品的樣品適配器和可容納不規則形狀樣品的樣品適配器。
可測元素Be~U
真空度控制機構APC（自動壓力控制）可穩定測量部分的真空度，從而可以高精度測量包括超輕元素在內的輕元素。
使用波長色散系統進行點映射分析
采用r-θ驅動樣品臺。利用內置高精度相機（500萬像素）確認分析部位的同時，可以利用波長色散法優異的光譜分辨率，進行精確的點映射測量，映射位置分辨率為100微米，甚至對于超輕元素。
ZSX制導軟件
它是一款適合初學者的軟件，可讓您使用可視屏幕執行高級分析。有關熒光 X 射線分析技術的專業知識已融入整個系統，包括支持創建定量應用的評估程序。
預防人為錯誤
ZSX Gudance 具有人為錯誤預防功能，允許您為每個操作員設置軟件訪問級別，從而允許任何人使用易于使用的操作屏幕進行測量。
光學保護
ZSX Primus400是一款底照式X射線熒光分析儀，其中從X射線管到探測器的光學系統放置在被測樣品的下方。為了防止即使在測量過程中樣品掉落也會損壞光學系統，在樣品和X射線管之間放置了鈹濾光片以保護X射線管，并在樣品和準直器之間放置了保護膜。我是。
ZSX Primus400 規格
| 產品名稱 | ZSX Primus400 | |
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| 方法 | 波長色散射線熒光分析 (WDXRF) | |
| 目的 | 固體、粉末、合金和薄膜的元素分析 | |
| 技術 | 掃描波長色散 X 射線熒光分析 (WDXRF) | |
| 主要部件 | 3/4 kW 密封 射線管，r-theta 臺 | |
| 選項 | 用于附加分析的晶體、各種樣品架、相機 | |
| 控制（電腦） | 外部 PC、MS Windows® 操作系統、ZSX 指導軟件 | |
| 機身尺寸 | 1376（寬）x 1439（高）x 890（深）毫米 | |
| 重量 | 約800公斤（本體） | |
| 電源 | 三相 200 VAC 50/60 Hz，8 kW | |
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