KT00Z1650PVD 小型桌面式磁控濺射儀
- 公司名稱 鄭州市金水區(qū)智研實(shí)驗(yàn)室設(shè)備經(jīng)營(yíng)部（個(gè)體工商戶）
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) KT00Z1650PVD
- 產(chǎn)地 鄭州市中原區(qū)大學(xué)科技園東區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/11/6 9:45:44
- 訪問(wèn)次數(shù) 21
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣,綜合 |
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小型桌面式磁控濺射儀：是一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對(duì)試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。
*外形小巧方便移動(dòng)
*觸摸屏控制，工藝記憶儲(chǔ)存方便鍍相同樣品
*自動(dòng)化電動(dòng)擋板，能自動(dòng)打開關(guān)閉，保證鍍樣時(shí)間和保護(hù)樣品
*石英＋不銹鋼腔體，方便觀察和清洗
小型桌面式磁控濺射儀 技術(shù)參數(shù)：
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺(tái) | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
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