中型真空高低溫探針臺：

探針臺主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。

真空探針臺可實現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測量，真空腔一體成型，具有設(shè)計合理，真空度穩(wěn)定，溫控精度及機械精度高等特點；根據(jù)測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件，溫度可達(dá)到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-190℃，；真空系統(tǒng)可選機械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達(dá)到10-3Torr或10-6Tor。

高低溫真空探針臺應(yīng)用：

可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

中型真空高低溫探針臺 參數(shù)