花籃片盒清洗機主要用于清洗附著在晶圓盒上的雜質，如切削油、磨粒、鐵屑、塵埃、指紋等。其功能是提高產品的質量，防止這些雜質對晶圓盒造成污染，影響產品的性能。

該設備適用于當前所有型號的花籃和片盒的清洗與干燥系統，包括傳輸片盒、前端開口片盒（FOUP）等。

工作原理：

花籃片盒清洗機通過泵傳輸清洗液，利用不同噴嘴噴射清洗液，達到一定的清洗效果。

清洗液可以通過計量調整控制操作，軟件設置可由觸摸屏進行控制操作。

設備可能采用旋轉噴淋技術，確保清洗液能夠均勻地覆蓋到花籃或片盒的每一個角落。

清洗完成后，設備會進行烘干處理，以確保花籃或片盒干燥。

主要特點：

自動化程度高：設備通常為全自動設計，可以自動完成上料、清洗、烘干和卸料等步驟。

適用范圍廣：適用于不同尺寸和規格的花籃與片盒，滿足客戶特殊需求。

高效清洗：采用清洗技術，如雙流體旋轉噴射清洗方式，實現超微精密清洗。

智能控制：配備高精度的傳感器和控制系統，能夠精確控制清洗和干燥的時間和溫度，自動識別晶圓盒類型，自動調整清洗和干燥的參數。

節能環保：部分設備采用節能設計，降低能耗。

具體應用：

在半導體制造過程中，花籃片盒清洗機用于清洗存儲和運輸晶圓的標準化容器（如FOUP），確保其在制造和運輸過程中不受到污染。

也可用于清洗其他需要高度潔凈度的部件，如機械零部件、壓縮機零件、照相機零件、軸承、五金零件、模具等。