爐管清洗機是半導體制造過程中核心設備,專門用于清潔石英爐管或石英舟。這些爐管在半導體器件的制造中扮演著重要角色,因此保持其清潔度對于確保產品質量至關重要。
產品特點:
高效清洗:爐管清洗機采用多種清洗技術,如DIW噴淋、超聲波和抖動等,能夠有效去除爐管內的顆粒物、雜質和其他殘留物。
自動化控制:設備通常配備PLC控制系統,實現自動化操作和過程監控,提高生產效率并減少人為錯誤。
安全性:設有EMO急停裝置、強弱電隔離以及電磁閥高于工作液面的設計,確保操作安全。
結構設計:立式或臥式設計,根據不同的生產需求和空間條件進行選擇。
環保節能:在保證清洗效果的同時,注重環保和能源利用效率,減少化學品和水資源的消耗。
維護簡便:設備設計考慮到易維護性,便于日常保養和故障排查。
定制化服務:可根據客戶的具體需求提供定制化的清洗方案和設備配置。
應用領域:
半導體制造
太陽能電池片清洗
LED芯片清洗
PCB板上焊錫殘留物、灰塵和其他污染物的清洗
注意事項:
在使用前應仔細閱讀操作手冊,了解設備的使用方法和安全指南。
定期對設備進行檢查和維護,以確保其正常運行和延長使用壽命。
使用合適的清潔劑和工具,避免對爐管造成損害。