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干式超聲波清洗機

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南京博創半導體設備有限公司成立于2019年主體經營:1.半導體制造相關設備:鍵合/解鍵合設備/晶圓清洗設備/涂膠設備/剝離設備2.半導體用高清潔傳送設備:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.納米印壓設備:8寸/12寸全自動量產設備和R&D研發設備4.FDP/PLP設備:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解鍵合設備5.UV系列產品:UV Laser/Excimer UV燈/UVLED燈/牛尾-濱松-ORC照度計 所在地 :江蘇省南京市棲霞區(新港開發區)恒泰路6號

 

172nm準分子,臭氧發生器,照度計,Robot,EB照射器

USC全稱叫干式超聲波清洗機

干式超聲波清洗機由風機柜、清洗頭和連接軟管組成。

通過風機柜產生的潔凈氣體經過軟管后從清洗頭高速噴出,氣體經過清洗頭內部的超聲波發生器會產生高頻聲波。高速氣體和高頻聲波共同作用下,可對工件表面的微小塵埃進行有效清潔。

清洗頭出氣口兩側設計有真空腔,可將清洗頭噴出的氣體回收,噴出氣體清潔工件后所攜帶的微塵也會回收到風機柜內。

1.干式氣體清潔,無需耗材

2.無接觸清潔,不損傷工件

3.高效過濾氣體,不污染工件

4.清洗氣體回收,不影響環境

5.超聲波發生器性能衰減

超聲波(ultrasonic )是比人類能夠聽到的震動數,即可聽振動數(20 ~ 20,000 Hz)更高的振動數。是指在20kHz以上向哪個方向振蕩傳送達音波。 超聲波可以把能量集中到銳角,向一定方向發射,介質不同有如光,具有反射,折射的性質。 超聲波可根據傳播方式,用于深度測量,醫學診斷,清潔及加工等。 頻率高、強度大,明顯比一般聲波波長短,有方向的對微小的部分傳達能量。CTS USC通常發生40kHz~70kHz的超聲波。

清洗機能夠透過空氣層,將聲波的能量傳達到基板的表面,可以去除十分微小的異物 。

1. CTS USC的特點是 Pressure line中對空氣進行反復壓縮和膨脹處理,通過空氣間的互相沖突自然形成的Pressure air超聲波將 Panel 上殘留的Particle 與面板進行分離 進行清洗的方式。2. 一般,Air knife 對于清洗微細粒子具有顯著作用,但是清洗能力只能達到50%左右,相比較,采用 Ultrasonic Air方式,清洗力能達到98%以上。




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