KAKUHUNTER寫真化學 反射多層成像膜厚計

KAKUHUNTER寫真化學 反射多層成像膜厚計

 這是一種膜厚計，可以利用顯微圖像光譜法將透明多層膜的膜厚分布可視化。

由于使用光學干涉法計算膜厚，因此可以

以0.1nm以下的分辨率以3D方式顯示膜厚分布。

測量顯微鏡視野內任何區域的

膜厚和膜質量分布，并以 3D 形式顯示分布

分辨率相當于可見光波長干膜測厚儀

波長范圍從 450nm 到 750nm 可以以 1nm 增量

使用與反射膜厚度監視器相同的計算引擎進行并行計算

應用實例

① 數百層重復層壓薄膜、溝槽等復合結構。

② 使用 EMA（有效介質近似）法估算亞微米圖案的密度

③ 局部結晶度評價

您可以根據工作和應用選擇物鏡。

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