CY-CVD1200-50 1200℃三溫區3路質量供氣高真空CVD系統
參考價 | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-CVD1200-50
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/16 11:22:06
- 訪問次數 9
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 地礦,能源,電子,冶金,航天 |
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簡單介紹:
1200℃三溫區3路質量供氣高真空CVD系統由三溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐三個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫,通過調節各個溫區的溫度,該管式爐可以在加熱區內形成三段溫度梯度或是形成較長的恒溫區域。每個溫區均可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。
詳情介紹:
1200℃三溫區3路質量供氣高真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。
系統所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作面板采用數字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。
本系統還配有精密分子泵組,可以達到1.0E-3pa真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
技術參數:
真 空 管 式 爐 | 產品型號 | CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q | ||
爐管材質 | 高純石英 | |||
爐管直徑 | 50mm(可選配60mm、80mm、100mm) | |||
爐管長度 | 1300mm | |||
爐膛長度 | 1060mm | |||
加熱區長 | 300mm+300mm+300mm | |||
工作溫度 | 0~1100℃ | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |||
顯示模式 | LCD | |||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | |||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | |||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
供 氣 系 統 | 產品型號 | CY-3Z | ||
氣體通道 | 3通道 | |||
測量部件 | 氣體質量流量計 | |||
測量量程 | A通道:0~100SCCM H2氣 | 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 | ||
B通道:0~300SCCM N2氣 | ||||
C通道:0~500SCCM Ar氣 | ||||
測量精度 | ±1.0%F.S | |||
管道耐壓 | 3MPa | |||
工作壓差 | 50~300KPa | |||
連接管道 | 304不銹鋼 | |||
控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | |||
接口規格 | 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
排 氣 系 統 | 產品型號 | CY-GZK103-A | ||
分子泵 | CY-600 | |||
前極泵 | 旋片泵 | |||
抽氣速率 | 分子泵:600L/S | 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達:1.0E-3Pa | ||
旋片泵:1.1L/S | ||||
抽氣接口 | KF40 | |||
排氣接口 | KF16 | |||
真空測量 | 復合真空計:電阻規+電離規 | |||
極限真空 | 1.0E-5Pa | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz |
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