CY-EBH500-SS 高真空電子束蒸發鍍膜儀
參考價 | ¥ 60000 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-EBH500-SS
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/21 9:20:35
- 訪問次數 23
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 1-5萬 |
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應用領域 | 文體,地礦,能源,建材,冶金 |
簡單介紹:
高真空電子束蒸發鍍膜儀主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質襯底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜。
技術參數:
產品名稱 | 高真空電子束蒸發鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-EBH500-SS | |
樣品臺 | 外形尺寸 | <150mm,樣品臺可旋轉 |
可調溫度 | ≦500℃ | |
電子槍 | 新型電子槍,6孔坩堝 | |
加熱燈 | 4只鹵素加熱燈用于除氣,1個氖燈用于照明 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | Φ500*H500mm |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
腔體材質 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測量 | 采用SQM160膜厚儀進行監控,涂層厚度不均勻度小于6%。 | |
真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測量 | 復合真空計(電離規+電阻規) | |
系統真空 | 5×10-5Pa | |
水冷系統 | 水壓<2.5bar 水壓監測 | |
加熱燈 | 4只鹵素加熱燈用于除氣,1個氖燈用于照明 | |
電極接口 | 帶2路金屬蒸發電極接口 | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制器 | |
其他參數 | 供電電源 | AC380V,50Hz |
整機尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
整機功率 | 20KW | |
整機重量 | 350kg |