產地類別 | 國產 | 價格區間 | 1-5萬 |
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應用領域 | 文體,地礦,能源,建材,冶金 |
簡單介紹:
多源真空蒸發鍍膜儀適用于對氧敏感的金屬薄膜(如Ti、Al、Au等)的蒸鍍,也適用于各種氧化物材料的蒸鍍。
詳情介紹:
本設備采用前開門式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱及升降,所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境;真空系統內含有完善的氣動閥系統,用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、停機等操作。
本設備的蒸發源共兩組,采取鎢舟蒸發源,水冷式銅電極,可支持300A的大電流,加熱溫度可達1800℃,可實現多種難熔金屬的蒸鍍。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作,在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。
技術參數:
多源真空蒸發鍍膜儀 | ||
樣品臺 | 尺寸 | φ150mm樣品 |
高度 | 上下150mm可調 | |
蒸發源 | 數量 | 鎢舟x2 |
真空腔體
| 腔體尺寸 | φ500x700mm |
觀察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀 | |
真空系統
| 前級泵 | 雙極旋片泵 |
抽氣接口 | KF16 | |
次級泵 | 渦輪分子泵 | |
抽氣接口 | ISO160 | |
真空測量 | 電阻+電離 復合真空規 | |
排氣速率 | 機械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
極限真空 | 1.0E-5Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 旋片泵:1.1L/S | |
流量計 | 可選一路質量流量計 500sccm Ar氣 | |
控制系統 | PLC自動控制 操作界面:觸控屏+操作面板 | |
其他
| 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機尺寸 | 1200mm X 900mm X 1500mm | |
整機重量 | 500kg | |
整機功率 | 5kW |