CY-EBH500-SS 卷繞式高真空蒸發鍍膜儀
參考價 | ¥ 90000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-EBH500-SS
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/21 10:07:22
- 訪問次數 15
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 1-5萬 |
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應用領域 | 文體,地礦,能源,建材,冶金 |
簡單介紹:
卷繞式高真空蒸發鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數金屬和某些有機材料薄膜,如金屬、半導體、氧化物等。
詳情介紹:
本儀器是一種高真空蒸發鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發源,并且樣品臺和蒸發源之間的距離是可調的。 該儀器可以穩定地蒸發金屬和某些有機物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀察窗,因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統的真空10E-4Pa,可有效提高涂層質量,并能滿足大多數蒸發涂層實驗所需的真空環境。
用途:
可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數金屬和某些有機材料薄膜,如金屬、半導體、氧化物等。
技術參數:
產品名稱 | 卷繞式高真空蒸發鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-EVH600R-II-HH-SS | |
供電電壓 | 單相,AC220V, 50Hz | |
真空腔體 | 內壁處理 | 電解拋光 |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
腔體尺寸 | 臥式Φ600mm×500mm | |
觀察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
卷繞系統 | 收放卷 | Φ200mmx300mm |
速度 | 60m/min(可調) | |
張緊 | 可調 | |
蒸發源和電源 | 部件數量 | 1套金屬蒸發源,帶獨立擋板 |
電極電壓 | 10V | |
送絲速度 | ≤3m/min | |
蒸發電流 | 功率2KW,*大電流為160A,調節精度為1A | |
蒸發器 | 鎢舟,1個 | |
真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵,抽速1.1L/s |
渦輪分子泵 | 抽速:600L/s; 額定轉速:24000rpm; 啟動時間:≦4.5min 冷卻方式:水冷+空冷 進氣接口:ISO150 出氣接口:KF40 真空度:5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar) 抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的時間少于40分鐘 | |
復合真空計 | 測量范圍 105Pa~10-5Pa | |
膜厚監測儀 | 測量精度 | 0.1? |
測量速度 | 100ms-1s/次 | |
可設置測量范圍 | 500000?(鋁) | |
標準傳感器晶體 | 6MHz | |
適用晶體尺寸 | Φ14mm (標配10片) | |
空壓機 | 作用于電控氣動閥 | |
水冷機 | 冷卻水溫度:≦37℃ 流速:10L/min 功率:0.1KW 冷卻功率:50W/℃ 水箱容量:9L | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制器 |